판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9351429
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AMAT (APPLIED MATERIALS) AMAT/APPLIED MATERIALS 생산자 GT 원자로는 100nm 이하의 폴리실리콘 생산을 위해 설계된 최첨단 대용량 생산 장비입니다. 원자로 (reactor) 는 높은 수준의 반복성과 균일성을 갖춘 고품질 필름을 공급하도록 설계되었습니다. 원자로 (Reactor) 는 기존 단일 및 다중 챔버 시스템 (Multi-Chamber System) 과 다양한 보조 장비와 호환되도록 설계되었습니다. AMAT 생산자 GT 원자로는 가스와 침착 전구체를 공정 챔버로 전달하기 위해 처리 구역에 6 개의 고 토크 가스 인젝터를 통합합니다. 인젝터 (injector) 는 비활성 가스를 활성 종과 혼합 할 수 있으며, 최적의 반응물 제어 및 뛰어난 정밀도 및 일관성을 가진 폴리 실리콘 필름 (polysilicon film) 의 생산을 가능하게한다. 또한, 원자로에는 별도로 통제 된 온도 지대 (temperate zone) 가 장착되어 증착 원의 균일 한 가열과 필름의 균일 한 증착을 허용합니다. 증착 소스의 컨트롤러는 다양한 소스 (source) 와 화학 조합 (chemical combination) 을 작동시켜 고품질 필름 제작을위한 다재다능한 솔루션을 제공 할 수 있도록 설계되었습니다. 원자로에는 조정 가능한 셔터, 자동, 2 축 로드 잠금 장치, 로드 잠금 보안 시스템, 지능형 오거 컨트롤러 등 여러 가지 고급, 동력 구성 요소가 장착되어 있습니다. 이러한 구성 요소는 필름의 균일 한 증착을 보장하기 위해 정확한 제어 및 정확성을 제공합니다. 또한 전원 장애 복구 (failover) 셔터 (shutter) 를 장착하여 여러 프로세스 실린더 간에 빠르게 이동하여 운영 중단을 방지합니다. APPLIED MATERIALS Producer GT 는 신속한 툴링을 통해 다운타임을 최소화하면서 신속하게 생산할 수 있습니다. 최첨단 시스템 (State-of-the-Art Machine) 은 직관적인 사용자 인터페이스와 강력한 프로세서를 갖추고 있어 포괄적인 툴 제어 기능을 제공합니다. 사용자 인터페이스 (User Interface) 는 사용자 지정 기능이 뛰어나 프로세스 모니터링 및 유지 관리를 위한 다양한 작업을 제공합니다. 모듈 식 디자인으로 제작 된 Producer GT는 100nm 이하의 폴리 실리콘 필름 제조를위한 다재다능한 제작 도구입니다. 원자로 (reactor) 는 대용량 생산뿐만 아니라 낮은 용도에 적합하며, 사용자가 정확하고 반복 가능한 결과와 뛰어난 필름 일관성을 제공합니다. 이 제품은 사용 편의성과 유지보수 편의성을 위한 사용자 친화적 (user-friendly) 기능으로 설계되었으며, 혁신적인 설계를 통해 안정성이 뛰어난 처리 장비입니다.
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