판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9351133

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 유전체, 폴리머 및 금속의 증착에 사용되는 고급 플라즈마 강화 화학 증기 증착 (PECVD) 원자로입니다. 운영 용량과 신뢰성을 높이고, 제품 품질을 향상시키고, 운영 비용을 절감하도록 설계되었습니다. AMAT 생산자 GT 원자로 장비는 소스 챔버, 증착실 및 완전 자동화 된 공정 챔버 컨트롤러, 가스 라인 캐비닛, 난방 구역 컨트롤, 중앙 진공 시스템 및 IEM (in-situ endpoint measurement) 장치를 완전한 솔루션으로 결합합니다. 원자로 (reactor) 는 엄청나게 유연하며, 넓은 영역 기판에서 미크론 크기의 피쳐까지 광범위한 재료를 처리하는 데 사용될 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Producer GT의 소스 챔버에는 몇 가지 통합 된 고출력 RF 소스가 장착되어 높은 증착률을 제공합니다. 가스 분사기 (gas injection machine) 는 증착율 및 인터페이스 제한 제어를 제어하기 위해 정확한 연료 혼합물 비율을 제공하도록 설계되었습니다. 여러 개의 가스 라인 (gas line) 과 디지털 질량 흐름 컨트롤러 (digital mass flow controller) 는 동시에 반응성 및 비활성 가스 화학 물질과 같은 복잡한 프로세스를 허용합니다. 원자로 챔버 (reactor chamber) 는 우수한 공정 제어를 위해 매우 작은 소스-기판 거리 (source-to-substrate distance) 를 통해 증착 프로세스에 균일성과 반복성을 제공하도록 설계되었습니다. 선형 전자기 코일은 넓은 지역에 비해 높은 균일성을 제공합니다. 또한 별도의 난방 구역 (heating zone) 과 직접 온도 피드백 (direct temperature feedback) 으로 고온 균일성을 제공하기 위해 통합 된 인상적인 온도 조절 메커니즘이 있습니다. IEM 도구는 기판 증착, 현장 프로세스 엔드포인트 모니터링, 실시간 피드백 (feedback) 을 위한 최고의 컨트롤입니다. 이 모니터링 자산 (monitoring asset) 은 다양한 온도에서 높은 감도의 증착 속도 변화를 감지 할 수 있습니다. IEM 모델에는 허용 된 모든 공정 챔버에 대한 통합 증착 공정 챔버 대기 모니터링 장비도 있습니다. 전반적으로 생산자 GT (Producer GT) 는 믿을 수 있는 자동화된 PECVD 시스템으로, 매우 빠른 증착률을 가진 넓은 영역에 대해 정밀한 프로세스 제어 및 증착 균일성을 제공 할 수 있습니다. 이 원자로 장치 (reactor unit) 는 증착 과정에서 높은 성능과 정밀도가 필요한 과학자 또는 엔지니어에게 매력적인 옵션입니다.