판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9311200

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 박막 재료 생산에 사용되는 고급 전자 빔 증발기입니다. 기계는 전자 빔 건 (electron-beam gun) 을 사용하여 도가니 소스 챔버에서 다양한 기질로 물질을 증발시킵니다. 기화 된 물질은 고체 침전물에서 기질로 형성되며, 금속에서 산화물, 질화물, 기타 화합물 및 유기물에 이르기까지 다양합니다. 이 기계는 전자 빔 건 (electron-beam gun) 과 소스 챔버 (source chamber) 외에 여러 주요 구성 요소로 구성됩니다. 증착실 (deposition chamber) 은 재료가 퇴적되는 곳이며 대부분의 반응이 일어나는 곳입니다. 여기에는 2 개의 독립적 인 난방 구역 (높고 낮은 열 구역) 이 있으며, 이를 통해 정확한 온도 조절이 가능합니다. 이것은 특히 유기 및 화합물 증착에 중요합니다. 저온 존 (Low-temperate zone) 은 기판을 전열시키는 데 사용되며 증착 된 물질의 접착 및 균일 성을 향상시킵니다. RF 생성기는 넓은 주파수 범위 내에서 증착실 대기를 흥분시키는 데 사용되며, 이는 압력, 온도, 증착율 (deposition rate) 과 같은 챔버 매개변수의 정확한 튜닝을 허용합니다. 이것은 정확한 박막 증착을 보장합니다. AMAT Producer GT의 또 다른 주요 구성 요소는 로드 잠금 챔버입니다. 이것 은 "기판 '을 침전실 로부터 분리 시켜" 기판' 의 안전 한 적재 및 하역 을 가능 케 하는 밀봉 된 "챔버 '이다. 이것은 또한 소스 재료가 증착실을 오염시키는 것을 방지합니다. 진공 시스템은 APPLIED MATERIALS Producer GT의 중요한 측면이기도합니다. 진공 "시스템 '은 물질 을 증착 할 수 있을 만큼 저압 을 증착" 챔버' 에서 유지 할 책임 이 있다. 또한 모든 휘발성 오염 물질 (volatile contaminant) 과 입자 (particle) 가 시스템 외부로 대피함에 따라 깨끗한 환경을 제공하는 데 도움이됩니다. 마지막으로 Producer GT에는 여러 안전 시스템도 있습니다. 이러한 안전 시스템은 기판 및 사용자의 안전을 보장합니다. 이러한 시스템에는 여러 개의 센서, 차단 밸브 (Shut-off Valve), 프로세스를 모니터링하고 안전하지 않은 상태가 발생할 경우 시스템을 종료하는 경고 (Alert) 가 포함됩니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT (AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT) 는 다양한 박막 재료를 정확하게 증착할 수 있도록 사용자 정의하기 쉬운 고급 및 신뢰할 수있는 기계입니다. 여러 개의 챔버, 고급 온도 (Advanced Temperature) 및 RF 제어 (RF Control) 및 안전 시스템 (Safety System) 은 다양한 응용 분야에 적합한 필름을 생산합니다.