판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9296916

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 반도체 제조에 사용되는 원자로 유형입니다. 유전 물질의 초저온 층을 기판에 배치하도록 설계된 CVD (chemical vapor deposition) 도구입니다. 원자로는 독점적 인 유도 난방 플랫폼 (induction heating platform) 과 저압 공정 챔버 (low-pressure process chamber) 를 사용하여 탁월한 열 성능으로 안전하고 반복 가능한 필름 증착을 보장합니다. 또한, 이 도구는 사용 편의성과 탁월한 처리량을 제공하도록 설계되었습니다. AMAT Producer GT는 고출력 전자 발전기, 유도 코일 및 제어 진공 환경을 갖추고 있습니다. 원자로 챔버 내부에서, 플레 넘은 공정 가스를 분배하는 데 사용된다. 실제로, 기판이 유도 코일 (induction coil) 에서 최적의 거리에 위치하여 원자로 챔버 (reactor chamber) 내부에 유지되었을 때 증착이 일어난다. 유도 코일 (coil) 이 활성화 된 후, 공정 가스가 챔버에 도입되어 저압 환경을 만듭니다. 그 다음, "플라즈마 '가 기질 과 유도" 코일' 사이 에 생성 되어, 얇은 "필름 '을 기질 에 증착 시키는 데 필요 한 열 과" 에너지' 를 공급 한다. APPLIED MATERIALS Producer GT는 낮은 기판 온도에서 유전체 박막을 일관되게 퇴적하도록 설계되었습니다. 필름 증착 속도는 유도 코일에 RF 바이어스 (bias) 를 첨가함으로써 향상되며, 이는 기판 표면에서 전자 방출을 안정화하는 데 도움이된다. 생산자는 또한 40 ° C의 낮은 온도를 유지하여 좋은 필름 페이스팅 (faceting) 및 뛰어난 밀도 등각 증착을 허용합니다. 또한, 공구는 프로세스 확장 (process scaling) 도 가능하며, 다양한 챔버 크기에 걸쳐 반복 가능한 프로세스 성능을 제공합니다. 이렇게 하면 작은 기판 이나 큰 기판 을 생산 하는 데 "도구 '를 사용 할 수 있다. 부가 된 보너스 (bous) 로서, 생산자는 한 번의 프로세싱 주기로 여러 개의 씬 필름 (thin film) 증착을위한 인상적인 용량을 제공하여 생산성을 향상시키고 비용을 절감합니다. 간단히 말해서, Producer GT는 탁월한 열 성능, 사용 편의성, 탁월한 처리량을 위해 설계된 강력하고 안정적인 CVD 도구입니다.