판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9296911

AMAT/APPLIED MATERIALS 생산자 GT 원자로는 반도체 제작 공정에서 더 높은 생산량을 제공하기 위해 AMAT에서 개발 한 고급 가공 장비입니다. 원자로는 가스 전달, 열 관리 및 응용 플라즈마 기술을 결합하여 Si 기반 에치 프로세스를 제어하기위한 통합 솔루션을 만듭니다. AMAT 생산자 GT 원자로의 핵심에는 다중 가스 전달이 있습니다. 원자로는 최대 8 개의 다른 가스를 공급할 수 있으며, 다단계 에치 공정에 사용 할 수 있으며, 여기에는 불소 함유, 고귀한, 도펀트 및 기타 반응성 종의 순차 또는 동시 전달이 포함됩니다. AMFC (Advanced Mass Flow Controller) 를 활용하여 전체 기판에서 뛰어난 균일성과 반복성을 얻을 수 있습니다. 또한, APPLIED MATERIALS Producer GT 원자로의 고급 소프트웨어 아키텍처를 통해 플라즈마 파워, 프로세스 레시피 등과 같은 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 생산자 GT 원자로는 또한 통합 열 관리 (integral thermal management) 를 통해 프로세스 제어 개선뿐만 아니라 향상된 에너지 효율성을 제공합니다. 첨단 포지셔닝 시스템 (Advanced Positioning System) 은 액티브 광 정렬 및 확장 기판 지원을 통해 다양한 크기와 구성의 기판에 적합합니다. 액체 및 고속 사이클링 온도 제어 시스템 (fast-cycling temperon control systems) 은 기판과 전체 원자로 챔버 (reactor chamber) 에 걸쳐 우수한 온도 균일성을 제공하도록 설계되어 면처리 문제를 방지하고 더 높은 공정 속도로 더 오래 실행할 수 있습니다. 응용 플라즈마 기술 측면에서 AMAT/APPLIED MATERIALS 생산자 GT 원자로는 회사의 입증 된 전자 사이클로트론 공명 (ECR) 소스를 기반으로합니다. 이를 통해 원자로는 더 높은 전력 밀도 수준을 달성하여 에칭 속도 (etching rate) 와 필름 균일성 (film unifority) 을 향상시킬 수 있습니다. 또한 ECR 소스는 희귀 가스 효율성을 개선하여 처리를 개선하고 웨이퍼 레벨 결함을 줄입니다. AMAT 생산자 GT 원자로는 반도체 연구 및 생산에 이상적인 고도의 다목적 에칭 장치입니다. 첨단 하드웨어/소프트웨어 기능을 갖춘 원자로 (Reactor) 는 생산량을 높일 뿐만 아니라 프로세스 반복성 (repeativity) 과 균일성 (unifority) 도 향상시킬 수 있습니다. 이 기계의 통합 열 관리 (Integrated Thermal Management) 기능은 에너지 효율성을 향상시켜 탄소 배출량을 줄입니다.