판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9294490
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판매
ID: 9294490
CVD System, 12"
With (2) twin chambers
Wafer shape: SNNF
Local Center Finder (LCF)
Transfer robot type: GT
Load lock chamber pump type: EPX TWIN 180L
Hard Disk Drive (HDD)
(2) Heaters of FCVD chamber missing
EFEM Chamber with FZ
MKS Astron ex BPSG Chamber
FCVD Chamber
Transfer chamber: 30 mm
Ozone rack
AC Distribution box
(4) Chillers:
THERMO FISHER SCIENTIFIC MX 500W D3
(2) SMC INR–498–012D–X007
SMC INR–496–002D–X007
System rack
(9) Boxes
Frame
PC
Monitor
SMIF/FI:
Type: 5.4
AMHS: OHT
Pre-alignment
Pass through and storage: 8-Slots wafer pass through
(2) Load ports (1 and 4 positions)
FI Controller type:
FE, FI and RT Computer type: IBM 306M
Sub components:
O3 Generator type: MKS ASTEX
Ozone cabinet: INUSA
Heat exchanger type: SMC H2000
Heat exchanger type for O3: MX500
(2) Chambers:
Chamber A:
Type: FCVD Twin
Process: F-Oxide
Heater lift driver: 0190-13840
Isolation (Gate) valve: Nor Cal 041010-1
Throttle valve: MKS T3Bi
RPS Type: MKS Astron e/ex
Manometer: 5 Torr / 100 Torr
Chamber B:
Type: SACVD Twin
Process: HARP USG
Heater lift driver: 1080-00126
Isolation (Gate) valve: Nor Cal 021010-1
Throttle valve: MKS 683
RPS Type: MKS Astron EX
Manometer: 20 Torr / 1000 Torr
Process chamber:
Gas box
Face plate
Blocker plate
Input manifold
Output manifold
Teflon manifold
Ceramic isolator
Heater
RF Filter
Pin lift driver
AC Box
Gas delivery:
Gas pallet type
Regulator
Transducer
Gas pallet configuration:
Chamber A:
Stick position / Gas type / Volume
1 / N2 Purge / -
2 / NF3 / 10 SLM
3 / AR / 10 SLM
4 / N2 / 200 SCCM
5 / O2 / 2.5 SLM
6 / N2 Purge / -
7 / Si3H9N / 1 L
9 / HE / 5 SLM
10 / N2 Purge / -
11 / NH3 / 700 SCCM
12 / NH3 / 1 SLM
14 / H2O / 1g/min
15 / AR / 5 SLM
21 / HE / 5 SLM
22 / N2 Purge / -
Chamber B:
Stick position / Gas type / Volume
1 / N2 Purge / -
2 / NF3 / 7 SLM
3 / AR / 15 SLM
4 / N2 / 5 SLM
5 / N2 / 10 SLM
6 / O3 Out / -
7 / O3 In / -
8 / O2 / 30 SLM
9 / N2 / 30 SLM
10 / H2O In / 10g/min
11 / H2O Out / -
14 / TEOS / 7g/min
15 / N2 / 50 SLM
21 / HE / 3 SLM
22 / N2 Purge / -
Power supply:
Remote AC line: 208 V, 50/60 Hz
Remote UPS
2009 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 재료 또는 재료 조합의 얇은 필름을 기판에 증착하기위한 도구입니다. 장비는 3 챔버 원자로, 일련의 펌프 및 컨트롤러, 고급 열 관리 시스템으로 구성됩니다. 이 완전 한 장치 는 재료 를 기판 에 정확 하게 증착 할 수 있도록 설계 되었다. 원자로 의 주 "챔버 '는 기판 을 보유 하고, 다른 두 개 의 작은" 챔버' 는 퇴적 될 재료 를 보유 하고 있다. 이 기계는 다양한 기술을 사용하여 화학 증기 증착 (CVD), 물리적 증기 증착 (PVD) 및 스퍼터링과 같은 물질을 기판에 증착시킵니다. 강력한 열 관리 도구 (thermal management tool) 를 통해 각 증착 기술에 맞게 재료를 가열하고 냉각 할 수 있습니다. 기판은 증착 될 물질과 함께 원자로의 주요 증착실 (main deposition chamber) 에 적재된다. 재료 를 적절 한 온도 로 가열 한 다음, 더 작은 "챔버 '를 통해" 챔버' 로 공급 한다. 재료 의 분해 에 의해 생성 되는 "가스 '와 증기 는 배기" 라인' 을 통해 제거 된다. "증기 '와" 가스' 가 멀어지면, 기판 은 원하는 물질 결합 의 얇은 "필름 '에서 서서히 덮인다. 에셋은 사용자 정의가 용이하므로 온도, 압력, 가스 유량 (Gas Flow Rate) 과 같은 매개변수를 조정하여 퇴적물을 세밀하게 조정할 수 있습니다. AMAT 생산자 GT (AMAT Producer GT) 의 사용자 정의 기능은 다양한 기판에서 재료를 정확하게 증착하여 복잡한 전자 기기를 제작할 수있는 기능을 제공합니다. APPLIED MATERIALS Producer GT는 재료의 얇은 필름을 단순하고 정확하게 증착하도록 설계된 일체형 도구입니다. 강력한 열 관리 모델, 커스터마이징 가능한 매개변수, 다양한 증착 기술을 갖춘 생산자 GT (Producer GT) 는 최신 전자 제품 제작을 위해 안정적이고 효율적인 도구입니다.
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