판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9293604

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 마이크로 일렉트로닉스 산업에 대한 포토 esist 및 기타 민감한 층을 퇴적시키는 데 사용되는 수평 원자로입니다. 이 원자로는 열 질량이 낮고 빠른 복구 (rapid recovery) 를 제공하는 고온 관형 가열대 (high tempular heating zone) 를 사용하여 처리량을 높이도록 설계되었습니다. AMAT 프로듀서 GT (AMAT Producer GT) 는 또한 균일 한 박막을위한 넓은 지역에 대한 진정한 수직 증착을위한 통합 감수기를 갖추고 있습니다. 통합 웨이퍼 분배기 (wafer distributor) 및 반응 챔버 (reaction chamber) 는 장비 전체에서 일관된 입자 균형을 보장합니다. APPLIED MATERIALS Producer GT에는 처리량 및 유연성을 향상시키기 위해 별도의 로드 및 프로세스 영역이있는 2 개의 완전히 프로그래밍 가능한 공정 챔버가 있습니다. 또한 "가스 '조절" 시스템' 을 제공 하여 약실 전체 에서 원하는 "가스 '균형 을 정확 히 유지 한다. 원자로 (reactor) 의 캔틸레버드 (cantilevered) 설계는 공정 가스를 완벽하게 제어하여 공정 최적화를 가능하게 합니다. 또한, 공정 요구 사항에 따라 주 챔버 온도를 300 ° C-960 ° C에서 설정할 수 있습니다. 안전 측면에서 프로듀서 GT (Producer GT) 는 시스템, 스테이션 및 챔버 수준에서 성공적인 인증이 필요한 수많은 안전 인터 록을 갖추고 있습니다. 또한 온도 센서가 통합 된 중복 열 안전 장치가 있습니다. 마지막으로 AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 RF 지원 데이터 로깅 및 인수 기능을 통합하여 광범위한 프로세스 모니터링 및 제어를 지원합니다. 결론적으로 AMAT Producer GT는 마이크로 전자 산업을위한 고급 기계입니다. 그 "에너지 '에는 처리량 과 균일성 이 개선 된" 포토레지스트' 및 기타 민감 한 재료 들 을 정확 하게 배치 할 수 있는 여러 가지 기능 이 있다. 또한 프로세스 안전 (Process Safety) 및 데이터 로깅 (Data Logging) 기능을 활용하여 효율적인 프로세스 모니터링 및 제어를 수행할 수 있습니다.