판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9284083

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 반도체 실리콘 온 인슐레이터 (SOI) 고급 프로세스 통합을 위해 설계된 고급 에치 원자로입니다. 이 AMAT Producer GT 버전은 업계 최고의 기능 크기, 뛰어난 균일성 및 동급 최고의 대기 시간으로 설계되었습니다. 또한, 이 원자로는 업계 최초의 멀티 챔버 (multi-chamber) 구성을 갖추고 있으며, 광범위한 고객 요구 사항을 위해 특별히 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS 생산자 GT 원자로는 고급 PECVD 가스 전달 시스템을 갖추고 있으며, 실리콘 옥시 니트 라이드, 실리콘 질화물 및 기타 유전체를 높은 PECVD 속도로 전달할 수 있습니다. 원자로에는 얇은 평면 형 유전층과 화학-기계 광택 (CMP) 공정을 수행 할 수있는 PELD (Plasma Enhanced Layer Deposition) 기능도 있습니다. CMP 프로세스는 장치 성능에 적합한 특성을 가진 평면 비휘발성 유전체 레이어를 제공합니다. 생산자 GT 원자로는 또한 챔버 (chamber) 상태 간 빠른 전환을 통해 공정 시간을 줄일 수있는 고 처리량 밸브 시스템을 갖추고 있습니다. 또한, 원자로 균일성의 균일성은 다른 프로세스 모듈의 통합을 허용한다. 원자로는 또한 장거리 균일 제어 (uniformity control) 를 제공하여 넓은 공정 영역 전체에서 정확한 공정 제어를 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 또한 자동 프로세스 튜닝, 자체 학습 기능 및 '잠금' 모드를 포함한 광범위한 프로세스 제어 기능을 제공합니다. 공정 제어 (process control) 는 보다 세밀하게 축소되어 수익률과 주기 (cycle time) 를 저해하지 않고 생산성과 제품 품질을 높일 수 있습니다. 전반적으로, AMAT Producer GT는 유연하고 비용 효율적인 플랫폼과 고성능, 신뢰성을 결합한 혁신적인 원자로입니다. 탁월한 프로세스 제어 기능을 제공하며, 고급 프로세스 통합에서 업계 최고의 디바이스 성능을 달성할 수 있습니다.