판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9282971
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판매
ID: 9282971
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2016
CVD System, 12"
Process: Frontier nitride poly etcher
Factory interface: (3) FOUPs
Handler: Standard automation
(3) Chambers:
Chamber A: SiCoNi PME
Chamber B: Frontier SMR Nitride
Chamber C: (2) Frontier SMR Poly
Options:
L Motion slit valves
Frontier gas panels positions B and C
Swap kits
Siconi GP - A
FI Chemical filter
Heat exchanger integration parts
Nitride conversion kit
2016 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 재료 처리 응용 프로그램을 위해 설계된 고급 원자로입니다. 플라즈마 강화 화학 증발 (PECVD) 기계의 한 유형입니다. 이 원자로는 이온화 된 플라즈마의 향상을 사용하여 재료 필름 및 코팅을 형성합니다. AMAT 생산자 GT는 더 높은 온도에 견딜 수 있도록 설계된 고강도 세라믹-철 기판을 보유하고 있습니다. 이 기판 홀더에는 최대 300 ° C의 온도에 도달 할 수있는 석영 결정 서셉터가 있습니다. 또한 최대 400 ° C의 온도를 높일 수있는 2 개의 세라믹-철 히터가 있습니다. APPLIED MATERIALS 생산자 GT 원자로는 다중 원 연료 설계로 제작되었습니다. 이 디자인은 고유 한 다중 링 구성을 사용하여 균일 한 플라즈마 증착을 생성합니다. 멀티 서클 연료 설계는 또한 증착과 정리 주기 사이의 완벽한 전환을 위해 정확한 프로세스 제어를 가능하게합니다. 원자로에는 독특한 이중 영역 (dual-zone) 기능이 장착되어 있으며, 이는 다양한 유형의 재료에 대해 다른 플라즈마 조건을 프로그래밍 할 수 있습니다. 생산자 GT는 고급 전자 사이클로트론 공명 (ECR) 기술을 사용합니다. 이 고급 기술은 향상된 이온화로 고밀도 플라즈마를 가능하게합니다. 이 증가 된 이온화는 재료 필름 및 코팅에서 더 빠른 증착률과 더 높은 균일 성을 가능하게한다. ECR 장비는 또한 증착 공정과 관련된 생산 비용을 줄입니다. 원자로의 진공 압력 범위는 1x10-7 ~ 1x10-3 Torr입니다. 또한 챔버에 대한 폭발 방지 액세스, 비상 공기 차단, 핫 가스 우회 파이프 (hot gas bypass pipe) 등 여러 가지 안전 기능이 있습니다. 또한 AMAT/APPLIED MATERIALS 생산자 GT 원자로에는 고급 원격 액세스 시스템이 장착되어 있습니다. 이를 통해 원자로 (Reactor) 를 원격 위치에서 제어 및 모니터링할 수 있습니다. 원격 액세스 장치에는 진단, 실시간 모니터링 및 데이터 로깅도 있습니다. 이 시스템은 다운타임을 최소화하고 비용을 절감할 수 있도록 설계되었습니다. 요약하자면, AMAT 생산자 GT는 고급 플라즈마 강화 화학 증기 증착 (PECVD) 원자로입니다. 이중 구역 제어, 다중 원 연료 설계, 전자 사이클로트론 공명 (ECR) 기술 및 고급 원격 액세스 도구가 특징입니다. 이 원자로는 재료 필름 및 코팅에서 더 빠른 증착률과 더 높은 균일 성을 달성하도록 설계되었습니다. 고온 및 정밀한 프로세스 제어가 필요한 재료 처리 응용 프로그램에 이상적입니다.
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