판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9275950
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ID: 9275950
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2012
System, 12"
EFEM
O3 Rack
AC Rack
NPP Rack
Main TM
HARP USG Chamber
Monitor
(3) Part boxes
(2) KAWASAKI 3NS510B Atmospheric robots
UPS Interface
Front Interface (FI):
(3) Part boxes
WIP Delivery type: OHT
Chamber A, B and C twin: HARP USFG
Local center finder
Robot blade and type: FX Dual deck ceramic
Chamber A, B and C:
HA12 Dual zone heater
Face plate: Water cooled
Manometer: 20/1000 Torr
Clean type (RPS): MKS FI80133
No NDTR endpoint
No DPA
Foreline, 2"
ISO: NORCAL 021010-1
TV: MKS 683B-31931
Monitor: Stand alone
Chamber C: AX8407A Ozone generator
Ozone generator rack: Eterna
Gas delivery - APF GP:
MFC: GF 125
Gas feed: Bottom
Gas panel cabinet exhaust: Bottom exhaust
NIPPON Filters
Manual valves: FUJIKIN
Pneumatic valves: FUJIKIN
Liquid source
No regulated gas panel
No interlock indicator
No transducers
No display gas pallet
Gas pallet configuration:
Chamber A, B and C:
MFC: N2-Purge
Gas / Size
NF3 / 15000
AR / 15000
N2 / 5000
O2 / 30000
HE / 30000
N2 / 50000
LFM: STEC
TEOS: 7g
Spare parts included
Missing parts:
(2) AX8407A Ozone generators
(6) 0246-22744 Heater lift assemblies
0240-80219 Ring
(2) Ceramic heaters
Chamber B: Lift assembly
Chamber B and C: (2) Controller boxes with board
Power supply: 208 V, 50/60 Hz
2012 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 태양 광 물질의 박막 증착을위한 고도의 차세대 원자로입니다. 재료 전구체에서 고효율 PV 셀 및 모듈까지 PV (photovoltaic) 제조 프로세스를 완전히 자동화 할 수 있도록 설계되었습니다. 자동화, 유연성 및 고성능 조합으로 AMAT Producer GT는 PV 제조를 위한 혁신적인 도구입니다. APPLIED MATERIALS Producer GT는 여러 세대의 기술 및 혁신을 기반으로합니다. 첨단 10 세대 플랫폼은 공정 모듈 (process module) 과 소프트웨어 제어 기능이 통합된 완전 자동화, 전용 다중 도구 원자로로 구성됩니다. 기능 및 향상에는 기판 단계 변위, 기판 크기/모양 어댑터, 고급 가스 흐름 제어 및 저렴한 소스 통합이 포함됩니다. 생산자 GT (Producer GT) 에 포함된 통합 프로세스 모듈은 PV 셀 및 모듈 세대를위한 새로운 기회를 여는 데 사용됩니다. 최첨단 모듈은 대용량 (May Capacity) 과 높은 처리량 (Throughput) 을 성공적으로 생산하는 데 필요한 최고 수준의 성능과 유연성을 제공합니다. 공정 모듈을 사용하면 초박막 재료의 증착과 PV 재료 레이어 두께 및 컴포지션의 정확한 제어 (control of PV material layer thickness and composition) 가 가능합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 또한 효율성이 뛰어난 이중 및 트리플 접합 Thin Film Solar Cells 및 모듈을 생산할 수 있습니다. 또한 소프트웨어 제어 플랫폼 (Software control platform) 을 사용하면 프로세스 모듈과 함께 고급 작업을 수행할 수 있습니다. 여기에는 실시간 프로세스 모니터링, 문제 해결, 진단 기능을 통한 수동 및 자동 작업이 모두 포함됩니다. 전체 자동화 시스템 (Full Automation System) 은 처리 속도를 높여 운영 비용을 반전시키고, 수율을 늘리고, 모든 매개변수를 완벽하게 제어하여 출력을 극대화할 수 있습니다. 종합적으로, AMAT Producer GT는 PV 재료를 효율적으로 생산할 수있는 수많은 장점과 이점을 제공합니다. 이 플랫폼은 증설 프로세스를 자동화하고, 오류 및 비용을 절감하며, 높은 효율의 PV 셀 및 모듈 생산을 촉진합니다. 고효율 (HI) PV 셀과 모듈 생산을 최적화하기 위한 완벽한 선택이다.
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