판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9271267
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT (AMAT) 는 차세대 기판 준비 및 웨이퍼 제작의 발전에 사용되는 원자로입니다. 부하 잠금 장치 (Load Lock) 와 전송 챔버 (Transfer Chamber) 가 장착되어 있어 높은 수준의 재료 전송과 빠른 주기 시간 단축이 가능합니다. AMAT Producer GT는 높은 처리량의 가스 흐름을 제공하도록 설계되었으며, 이는 SPP (Substrate Pre-PROCESS) 응용 프로그램에 적합한 선택입니다. APPLIED MATERIALS Producer GT는 강력한 선형 및 기울기 모터 설계로, 높은 수준의 정밀 제어를 제공합니다. 이를 통해 기판 또는 웨이퍼 에칭의 높은 균일성을 위해 정확한 웨이퍼 포지셔닝 및 정확한 가스 흐름이 가능합니다. 원자로는 고성능 8 채널 DC 브러쉬리스 모터 컨트롤러 (Brushless Motor Controller) 로 구동되어 모든 동작 축을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이것은 자가 조정 램프 메커니즘을 특징으로하여, 작업 중에 기판의 일관된 이동을 보장하고, 기판 균일성을 보장합니다. 생산자 GT는 또한 여러 펌프 구성이있는 멀티 존 (multi-zone) 진공 네트워크를 제공하여 에칭 (etching) 또는 화학 증기 증착과 같은 다양한 프로세스 단계에 다양한 가스를 사용할 수 있습니다. 또한 다양한 진공 매개변수를 정확하게 측정 할 수있는 고급 프런트 엔드 공기 (pront end airdraulic) 트랜스듀서가 특징입니다. 이것은 기판 처리를 위해 안전하고 통제 된 환경을 보장합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 운영 및 유지 관리가 용이하도록 설계되었습니다. 고해상도 컬러 터치 스크린 디스플레이 (Color Touch Screen Display) 를 통해 다양한 중요한 매개변수를 수동으로 또는 자동으로 제어할 수 있습니다. 사용자 친화적 인터페이스 (User Friendly Interface) 는 수작업의 필요성을 줄이고 효율적인 운영을 보장합니다. 또한 다양한 진단 도구 (Diagnostic Tools) 를 통해 사용자가 원자로 성능을 모니터링하고 필요에 따라 조정할 수 있습니다. 또한 AMAT Producer GT는 광범위한 애플리케이션을 위한 비용 효율적인 솔루션입니다. 에너지 소비량이 적은 고품질 (High-Quality) 출력을 제공하여 대용량 프로세스에 적합합니다. 손쉬운 유지보수 (maintenance) 와 다양한 설계를 통해 기존 운영 라인에 손쉽게 통합하여 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. 전반적으로 APPLIED MATERIALS Producer GT는 다양한 반도체 애플리케이션에 적합한 고급적이고, 효율적이며, 비용 효율적인 원자로입니다. 웨이퍼 처리에 대한 높은 정밀 제어 및 균일 한 기판 처리에 대한 정확한 가스 흐름 (gas flow) 을 제공합니다. 고급 기능으로, 대용량 생산에 이상적인 선택입니다.
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