판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9270849

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 금속 에칭 및 머시닝 프로세스에 사용되는 고급 에칭 장비입니다. 이 시스템은 높은 에치 속도 (etch rate) 와 정확한 에치 제어 (etch control) 기능을 제공하여 제조업체가 고정밀, 고품질 머시닝 및 에칭 결과를 제공할 수 있도록 설계되었습니다. AMAT Producer GT는 주 공정 챔버 및 RF 소스, 피드 스루, 쿼츠 튜브, 기계 및 전기 부품으로 구성된 플라즈마 처리 챔버 장치입니다. 공정 챔버 (process chamber) 는 최적의 공정 제어 및 성능을 보장하기 위해 온도와 전기 절연을 제공하는 알루미늄 산화물 (aluminium oxide) 재료를 사용하여 구성됩니다. RF 소스는 3 개의 전극 쌍으로 구성되어 고밀도 플라즈마 처리를 허용합니다. 피드 스루 (feed-throughs) 와 쿼츠 튜브 (quartz tube) 는 전기 부품 및 가스에 필요한 연결을 제공합니다. APPLIED MATERIALS Producer GT는 또한 Safety Interlock Machine을 통합하여 전체 도구가 안전하고 규정을 준수하는지 확인합니다. 생산자 GT는 플라즈마 에칭 및 플라즈마 보조 머시닝을 포함한 주파수 제어 플라즈마 프로세스를 적용합니다. 에셋은 최대 1.0µm/min 속도와 최대 0.4µm 해상도를 에칭 할 수 있습니다. 높은 에치 레이트 (etch rate) 와 정확한 제어를 통해 제조업체는 최소한의 주기 시간, 향상된 처리량으로 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 최소 운영자 교육 또는 조정이 필요한 완전 자동화 모델입니다. 기체 흐름, 압력, 온도, 주파수를 자동으로 조정하여 안정적이고 일관된 에칭 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장비는 또한 컨트롤 화면에서 더욱 조절 가능한 모든 매개변수를 모니터링합니다. 이는 직관적인 프로세스 최적화 알고리즘과 결합하여 프로세스 제어 (process control) 및 대상 (targeted) 결과를 정확하게 확인할 수 있습니다. 탄탄한 에칭 성능 외에도 AMAT Producer GT 또한 구성 가능하며 광범위한 프로세스 기능을 제공합니다. 또한 구리, 알루미늄, 강철 및 티타늄 합금을 포함한 다양한 호환 재료를 보유하고 있으며, 직경 200mm까지의 웨이퍼를 에치 할 수도 있습니다. 이 시스템은 또한 산소, 아르곤, 수소, 질소를 포함한 다양한 가스와 호환됩니다. 전반적으로 APPLIED MATERIALS Producer GT는 효율적인 금속 에칭 및 머시닝 프로세스에 대한 정확한 에치 레이트 및 제어를 제공하는 고급 장치입니다. 고성능, 뛰어난 구성성, 직관적인 프로세스 최적화 알고리즘을 갖춘 생산자 GT (Producer GT) 는 고정밀도, 고품질 에칭 및 머시닝 결과를 달성하기 위한 완벽한 기계입니다.