판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9253662
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판매
ID: 9253662
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2015
PECVD System, 12"
SiCoNi Clean chamber
Other options and factory interface options:
Additional loadport
Infopad pos A or B
Configurable colored lights
Front facing intake plenum
Upper E84 sensors and cables
TIRIS With RF E99 Carrier ID
Operator access switch
Light curtain
Remote options:
Heat exchanger hoses and manifolds
Facilities UPS interface
Remote flat panel monitor on stand
Through the wall flat panel monitor with keyboard
Non standard request:
Kit
(2) Additional heat exchangers
Manifolds
H Chamber
FI Removal
Producer GT custom option
Pre-align center single axis
5.4 FI
New core
Power vaccine
AMK Handling items
2015 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 반도체 장치 처리에 사용되는 진공 증착 장비입니다. 이 원자로는 다양한 층의 집적 회로에 대한 등각, 균일 한 박막 (thin film) 의 고밀도 응용을 가능하게한다. 프로세스 균일성, 생산성, 생산성을 향상시키도록 설계된 완전 자동화 도구입니다. AMAT Producer GT는 지속적인 고진공 작동이 가능한 대용량 로드 잠금 시스템을 갖추고 있습니다. 이 장치는 또한 온도가 최대 600 ° C 인 고급 난방 기술 (Advanced Heating Technology) 을 사용하여 더 까다로운 프로세스를 수행합니다. 또한, 원자로에는 광범위한 증착원과 여러 공정 챔버가 있습니다. 이를 통해 여러 재료를 동시에 처리하여 다양한 증착 (deposition) 프로세스에 효율적인 플랫폼을 제공합니다. APPLIED MATERIALS Producer GT는 프로세스 성능 향상을 위해 여러 가지 고급 기능을 사용합니다. 여기에는 웨이퍼 척의 정확한 동작 제어를 촉진하는 piezo 모터가 포함되며, APC (Advanced Plasma Control) 기계는 최적의 플라즈마 조건을 보장합니다. 또한, 이 원자로는 가변 압력 도구 (variable pressure tool) 를 사용하여 프로세스 창 내에서 최적의 범위로 챔버 압력을 조정할 수 있습니다. 생산자 GT는 CMOS 및 MEMS, 박막 자기 및 광학 장치, 기타 고급 증착 프로세스와 같은 고밀도 응용 프로그램에 이상적입니다. 기존의 증착 기법과 비교하여 탁월한 필름 균일성을 제공하며, 수직 배율 기하학에 대해서도 매우 균일 한 필름을 가능하게합니다. 또한, 플라즈마와 최대 600 ° C 온도의 조합은 ALD/CVD를 포함한 고급 증착 과정을 가능하게한다. 이 자산은 견고성 (rugged) 이며, 가볍고 컴팩트한 디자인으로 설치와 유지 관리가 간편합니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 반도체 업계에서 고밀도 응용 프로그램을 가능하게하는 고급 프로세스 도구입니다. 이 제품은 두께, 온도, 압력, 균일성을 정확하게 제어해야 하는 증착 프로세스에 효과적인 솔루션을 제공합니다. 이 모델은 신뢰성이 높으며, 일관되고 반복 가능한 프로세스를 제공하여 주기 (cycle) 시간을 줄이고 원하는 결과를 정확하게 늘릴 수 있습니다.
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