판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9251459

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 300mm 수직 확산 화학 증기 증착 원자로로, 많은 양의 박막 반도체 재료 생산에 이상적입니다. 원자로는 대용량 제조, 공정 제어 및 균일 성 요구 사항을 수용하도록 설계되었습니다. 이 원자로의 수직 형상 (vertical geometry) 은 낮은 증착률로 높은 처리량을 보장하는 한편, 전체 웨이퍼 표면에 걸쳐 우수한 균일성을 제공합니다. AMAT 생산자 GT는 고온 단일 구역 원자로 설계를 특징으로합니다. 3 축 RF 변압기 외에 3 개의 6kW, 800 암페어 RF 발전기 전원 공급 장치가 장착되어 있습니다. 이 장비는 실리콘, 텅스텐, 티타늄, 탄탈륨, 구리 및 알루미늄과 같은 박막 재료의 증착에 이상적입니다. APPLIED MATERIALS Producer GT는 레이어 균일성을 최적화하기 위해 특별히 설계되었습니다. "챔버 '의 온도 는 밀접 하게 조절 되고 증착" 챔버' 에 도입 되기 전 에 "가스 '를 냉각시키면" 챔버' 의 온도 가 현저 히 낮아진다. 원자로는 멀티 스테이지 로드 잠금 시스템 (multi-stage load lock system) 을 갖추고 여러 챔버에서 프로세스 유연성과 안정성을 제공합니다. 온도, 압력 및 가스 흐름을 포함한 공정 매개변수를 정확하게 조정할 수 있습니다. 또한 4 챔버 가스 분포 장치를 사용하여 프로세스 변동성을 더욱 줄입니다. 또한, 선택적 가스 장벽 기계는 증착실 내에서 효과적인 오염 억제를 제공합니다. 프로세스 제어를 최적화하기 위해 Producer GT 는 포괄적인 실시간 진단/제어 툴을 갖추고 있습니다. 이러한 툴을 사용하면 중요한 모든 프로세스 변수에 대한 실시간 모니터링과 더불어 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 신속하게 조정하여 설정 (setting) 이나 운영 변경 (operational change) 을 처리할 수 있습니다. 이를 통해 대용량 생산 실행에서 일관된 결과가 일관되게 달성됩니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 또한 300mm, 25mm 및 12 인치 웨이퍼 크기를 수용하도록 특별히 설계된 샘플 로드 록을 갖추고 있습니다. 샘플 로드 록에는 웨이퍼 처리 포트, 가스 퍼지 포트, 가스 매니 폴드 (gas manifold) 및 샘플 포지셔닝 컨트롤이 있으며, 모두 로드 록 챔버에서 샘플 삽입 및 제거를 완벽하게 제어합니다. AMAT 생산자 GT (AMAT Producer GT) 는 고품질 박막 반도체 재료를 제작하는 다용도, 신뢰성, 신뢰할 수 있는 생산 환경을 제공합니다. 고급 (Advanced) 설계는 뛰어난 레이어 균일성, 프로세스 유연성, 프로세스 제어를 보장하는 반면, 견고성 강화 (Rugged) 를 통해 대용량 제조의 까다로운 요구 사항을 충족할 수 있습니다.