판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9251458

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 실리콘 산화물, 실리콘 질화물 및 저k 이산기와 같은 반도체 재료의 생산에 사용되는 플라즈마 강화 화학 증기 증착 (PECVD) 장비입니다. 기판에 고품질 박막 (Thin Film) 을 배치할 수있는 강력하고 신뢰할 수있는 도구입니다. AMAT 생산자 GT (AMAT Producer GT) 의 항공기 등급 알루미늄 챔버 설계를 통해 넓은 기판 영역에 균일 한 플라즈마를 제공 할 수 있습니다. 최대 500 와트의 전력을 갖춘 다중 소스 RF 생성기는 챔버에 적용되는 RF를 정확하게 제어합니다. 이렇게 하면 사용자가 증착 매개변수 (deposition parameters) 를 완전히 제어하여 두께와 컴포지션이 매우 균일한 필름을 생성할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS 생산 업체 GT (APPLIED MATERIALS Producer GT) 는 산화물 증착 및 표면 수동과 같은 다양한 프로세스에 적합한 빠른 램프 업 시간으로 250 - 400-의 낮은 증착 온도를 달성합니다. 직관적 인 가스 흐름 제어 시스템 (gas flow control system) 은 다양한 가스 전달을 가능하게하며, 응용 분야에 따라 사용자 정의 된 박막 레시피를 가능하게합니다. 생산자 GT는 긴 증착 실행을 통해 안정적인 플라즈마를 제공 할 수 있으며, 최소 입자를 도입하고, 챔버 벽 재포지트를 피할 수 있습니다. 또한 모든 기판 및 공정 매개변수에서 플라즈마 균일성 (plasma unifority) 및 반복성 (repeatability) 을 보장하여 대용량 생산에 적합한 도구입니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 멀티 챔버 시스템의 프로세스 드리프트를 최소화하고 수율을 최적화하는 매우 강력한 설계를 갖추고 있습니다. 고급 진단 (Advanced Diagnostics) 은 웨이퍼 처리량의 일관성에 대한 신속한 피드백을 제공하여 탁월한 프로세스 제어를 가능하게 합니다. 또한 온보드 장애 감지 (on-board fault detection) 및 격리 장치 (isolation unit) 를 통해 높은 시스템 가용성을 보장하여 다운타임 및 관련 비용을 절감할 수 있습니다. 전반적으로, AMAT Producer GT는 대량의 생산에서 유전체 및 표면 수동화 박막의 정확한 증착을위한 이상적인 도구입니다. 항공기 등급 알루미늄 챔버 (aluminium chamber) 디자인을 통해 넓은 기판 면적에 정확하고 균일 한 플라즈마를 만들 수 있습니다. 다중 소스 RF 생성기 및 통합 가스 흐름 제어 도구는 사용자에게 증착 매개 변수를 완벽하게 제어합니다. 또한, 고급 진단, 결함 격리 자산, 견고한 설계를 통해 탁월한 프로세스 제어와 고모델 가용성을 보장할 수 있습니다.