판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9245892
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 다양한 어플리케이션을위한 복잡한 기능 웨이퍼를 생산하도록 설계된 반도체 제작 도구입니다. 이 도구는 집적 회로 및 기타 마이크로 전자 부품 (micro electronic component) 을 대량 생산할 수 있도록 설계되었습니다. 이 원자로는 증착, 에치 (etch), 산화 (oxidation) 등 반도체 산업의 여러 프로세스에 사용됩니다. AMAT Producer GT는 처리량 및 고수율 제조를 위해 클러스터 도구 플랫폼을 사용합니다. 이 시스템은 복잡한 반도체 장치의 처리량 및 제조 효율성을 향상시키기 위해 특별히 설계되었습니다. 이 도구는 다양한 프로세스 도구를 수용할 수있는 모듈식, 조절식 챔버 아키텍처를 갖추고 있습니다. 여러 프로세스 툴을 하나의 챔버 (Single Chamber) 로 그룹화하여 생산성과 유연성을 높일 수 있습니다. 이 도구에는 자동 레시피 설정, 닫힌 루프 제어 (closed loop control), 처리량을 최적화하는 도구 스테이징 (staging), 최고 수준의 가동 시간을 위한 프로그래밍 가능한 기판 처리 (programmable substrate handling) 등의 고급 제어 기능과 기능이 있습니다. 이 도구에는 다양한 프로세스 요구를 충족시키는 여러 유형의 원자로가 있습니다. 여기에는 저압 화학 증기 증착 (LPCVD) 및 혈장 강화 화학 증착 (PECVD) 챔버; 에치 챔버; 산화 챔버; 인라인 게이트 에치 도구; 폴리실리콘, 텅스텐, 산화물, 질화 티타늄, 질화물 등 다양한 재료에 대한 폴리셔. APPLIED MATERIALS Producer GT는 기판로드 잠금 (Substrate Load-Lock), 트렌치 모니터, 맞춤형 프로세스 제어 논리, 결함 관리 기능 등 다양한 고급 기능을 갖춘 통합 프로세스 흐름을 제공합니다. 이 툴은 성능 모니터링을 위한 유지 관리 추적 시스템 (Maintenance Tracking System) 과 부품 스태이징, 스토리지, 검색 용도로 설계된 서브시스템 웨어하우스 (Subsystem Warehouse) 도 갖추고 있습니다. 생산자 GT는 매우 복잡한 반도체 장치의 제작에 사용되는 고급 도구입니다. 이 툴은 처리량 및 제조 효율성을 극대화하여 중요한 구성요소를 효율적으로 양산할 수 있도록 설계되었습니다 (영문). 이 시스템의 모듈식 아키텍처 (modular architecture) 와 고급 프로세스 제어 (process control) 는 반도체 장치 제작에 유용한 자산입니다.
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