판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9244810

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 에피 택시 및 증착 공정을 위해 반도체 제조에 널리 사용되는 원자로입니다. 연구 시설과 산업 시설 모두에서 사용되는 AMAT 산업 증착 시스템 (AMAT family of industrial deposition systems) 의 주력 도구입니다. AMAT 생산자 GT (AMAT Producer GT) 는 여러 기술을 결합하여 고급 반도체 공정에 강력한 솔루션을 형성하는 수직 원자로입니다. 생산자 GT 원자로에는 최대 4 개의 챔버 영역, Planar DetailTM 프로세스 제어 및 고급 Q-FlexTM 소스 기술을 포함한 여러 가지 고유 한 기능이 장착되어 있습니다. APPLIED MATERIALS 생산자 GT의 Planar Growth 프로세스 제어 (Planar Growth process Control) 기능은 계층별 자동 증가를 제공하여 측면 모드 안정성이 크게 향상되어 지속적으로 균일한 레이어를 생산할 수 있습니다. 이 공정 제어는 원자로 AMS (Advanced Monitoring System) 에 의해 관리되는데, 이는 in-situ epitaxy 프로세스 매개변수를 감지하는 매우 정확하고 결합 된 광학/전기 측정 엔진입니다. AMS 는 기본 "필름 '층 의 두께 와 조성 을 끊임없이 모니터링 할 뿐 아니라, 그 에 따라" 필름' 의 질 을 향상 시켜 준다. 또한 Producer GT는 Q-FlexTM 소스 기술을 사용합니다. 이 기술을 사용하면 소스 스위칭 시간이 빨라지고, 프로세스 온도가 높아져, 생산 처리량이 증가합니다. 통합 질량 흐름 컨트롤러 (Mass Flow Controller) 는 또한 정확한 소스 제어에 사용되므로 프로세스 전반에 걸쳐 엄격한 프로세스 제어가 가능합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 지능형 액티브 차폐, 자동 압력 관리 및 2 차 안전 컨트롤러를 포함한 고급 안전 시스템을 추가로 갖추고 있습니다. 이 상호 연결된 시스템은 가동 중 안전 보장 (Safety Assurance) 기능을 제공하여 사고 또는 장비/인력의 손상 위험을 크게 줄입니다. 마지막으로, AMAT Producer GT는 사용자 친화적이며, 원자로 작동이 용이한 대형 터치 스크린 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 를 갖추고 있습니다. 또한 GUI 는 실시간 데이터를 위한 포괄적인 모니터링 대시보드 (monitoring dashboard) 를 제공하여 필요에 따라 모든 중요한 원자로 매개변수를 추적하고 측정할 수 있습니다. 요약하자면, APPLIED MATERIALS Producer GT는 반도체의 효율적이고 안전한 증착을 위해 설계된 산업용 원자로입니다. Planar Growth, Q-Flex 소스 및 정교한 안전 시스템의 첨단 기술은 프로세스 가동 시간, 품질, 수율을 극대화합니다. 이 강력한 솔루션은 연구원과 산업 시설에 이상적인 선택입니다.