판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9241937

AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT
ID: 9241937
CVD system, 12" 2012 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS 생산자 GT 원자로는 물리적 증기 증착 (PVD) 기술과 화학 증기 증착 (CVD) 공정을 모두 갖춘 고급 증착 장비입니다. 또한 고급 재료 처리 시스템 (advanced materials processing system) 이라고도 하며, 특정 재료와 해당 특성을 기판에 배치, 에치, 수용하는 데 사용할 수 있습니다. 장치 자체는 멀티 타겟 음극 기술, 가스 보조 전달 도구, 진공 챔버 (vacuum chamber) 를 통합 한 완전 자동화 기계입니다. AMAT 생산자 GT 원자로의 멀티 타겟 음극 (multi-target cathode) 기술은 대량의 빠른 필름 증착에 이상적인 높은 증착률을 제공합니다. 3 모노 폴 자기장 (3-monopole magnetic field) 의 구성은 기질을 따라 짝수 필름을 달성하기 위해 분산 증착을 제공하기 위해 각 표적으로부터 균일 하고 거의 독립적 인 전자 플럭스 (electron flux) 를 생성한다. 자석 은 과도 한 "에너지 '증착 때문 에 생길 수 있는 방주 혹은 기타 문제 들 을 방지 한다. APPLIED MATERIALS 생산자 GT 원자로 (APPLIED MATERIALS Producer GT Reactor) 에 통합 된 가스 보조 전달 자산을 사용하면 기판에 증착 된 필름의 두께와 균일 성을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 특히, 모델은 끝 효과 (end effects) 후 두 영역에서 반응물 입력을 램프하여 백사이드 퍼지 레이어 (backside purge layer) 를 기판에 추가합니다. 이것은 화학 결합을 개선하고 핀 홀링 (pin-holing) 및 반응성 스퍼터링을 방지하여 필름 문제를 일으킬 수 있습니다. 생산자 GT 원자로는 10-7 Torr 정도의 압력을 유지할 수있는 진공 실에 둘러싸여 있습니다. 이러 한 환경 을 통해, 필름 을 외부 오염 물질 없이 퇴적 시킬 수 있으며, 그 결과 필름 은 더 균일 하고, 더 나은 전기, 열, 광학 특성 을 지니게 된다. 이 장비에는 또한 프로세스가 안전하고 효율적인 (예: 드래그 튜브 포트, 긴급 펌프 배기) 방식으로 수행되도록 하는 여러 기능이 포함되어 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 다양한 재료를위한 강력하고 다양한 필름 증착 시스템으로 설계되었습니다. PVD 및 CVD 기술을 통합하여 다양한 컴포지션의 필름을 기판에 증착 할 수 있으며, 필름 두께와 균일성을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 내구성, 정확성, 다재다능성은 과학 연구, 항공 우주 분야, 의료, 전자 산업 등 다양한 산업에 이상적입니다. 첨단 기술을 통해 AMAT 생산자 GT 원자로는 안정적이고 정확한 영화 증착 장치 (deposition unit) 를 찾는 모든 조직에 적합한 솔루션입니다.
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