판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9235101

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 광범위한 반도체 및 결정질 제품에 대한 우수한 처리 솔루션을 제공하는 고급 원자로입니다. 원자로는 웨이퍼 제작, 층상 산화물 재료, 실리콘 성장 등 다양한 작동 모드에서 재료를 처리 할 수 있습니다. AMAT Producer GT는 헬륨으로 채워진 초고 진공 챔버 (vacuum chamber) 를 기반으로하며 여러 기질을 동시에 처리할 수 있습니다. 이는 멀티기판 처리를 위한 업계 최고의 시스템 중 하나입니다. 효율적인 생산 플랫폼에는 고온 공정 챔버 (+ 1000 ° C), 빠른 샘플 처리를 위한 대형 멀티 슬롯 샘플 홀더, 제품 로드 및 언로드를 용이하게 하는 자동화 등 다양한 주요 기능이 있습니다. APPLIED MATERIALS Producer GT의 효율적인 헬륨으로 채워진 챔버에는 높은 신뢰성 실험실 등급 펌프와 실레인, 암모니아, 아르곤 (Argon) 과 같은 일반적이고 전문화 된 공정 가스를 모두 포함하는 가스 캐비닛이 장착되어 있습니다. 또한, 예제 (sample) 와 공정 매개변수 (process parameter) 를 모니터링할 수 있는 온보드 안전 시스템 (full on-board safety system) 을 갖추고 있으며, 오작동시 안전 방식으로 원자로를 종료합니다. 생산자 GT 는 1 개 의 "실린더 '에 최대 150mm 크기 의" 웨이퍼' 를 처리 할 수 있으며, 그 후 추가 2 개 의 "실린더 '에 적재 하여 더 큰 처리량 을 낼 수 있다. 대용량 필름 및/또는 복합 필름 처리의 주기 시간을 단축시켜 보다 빠른 회전 시간 (turn-around time) 을 가능하게 합니다. 원자로는 또한 박막 증착, 빠른 열 처리, 원자층 증착 (atomic layer deposition) 등 다양한 응용 분야에 적응할 수 있도록 설계되었습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 직관적인 PEP (Process Electrical Panel) 디스플레이 (그래픽 포함) 와 시스템 작동을 위한 전체 QWERTY 키보드 등 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 또한 다양한 시뮬레이션 (Simulation) 또는 분석 소프트웨어 (Analysis Software) 와 통신할 수 있는 통합 제어 시스템을 통해 사용자가 프로세스를 최적화할 수 있도록 지원합니다. 또한 고급 프로세스 평가 데이터베이스 (Advanced Process Evaluation Database) 를 통해 사전 실행을 저장하고 리콜할 수 있으며, 고객이 얻은 데이터를 액세스하고 분석하여 운영 효율성을 향상시킬 수 있습니다. 전반적으로, AMAT 생산 업체 GT (AMAT Producer GT) 는 다양한 반도체 및 결정질 제품에 대한 탁월한 프로세스 기능과 향상된 처리량을 제공하도록 설계된 고급, 풍부한 기능의 원자로입니다. 운영 플랫폼, 직관적인 인터페이스, 유연한 소프트웨어 등 다양한 애플리케이션에서 생산성을 극대화할 수 있습니다 (영문).