판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9235066

AMAT/APPLIED MATERIALS 생산자 GT Reactor는 반도체 장치 생산에서 얕은 트렌치 격리 (STI), 장벽 금속 및 수동에 사용되는 고급 AMD (Advanced Materials Deposition) 챔버입니다. 고도의 제조 정밀도, 정확도, 견고성과 결합된 이 첨단 기술은 AMAT 생산자 GT 원자로 (AMAT Producer GT Reactor) 를 고급 반도체 장치 제작을위한 안정적이고 효율적인 증착 장비로 만듭니다. APPLIED MATERIALS 생산자 GT Reactor에는 최첨단 기능과 기능이 포함되어 있습니다. 이 시스템은 높은 생산률 (rate of production) 을 제공하며 여러 복잡한 프로세스를 병렬로 실행할 수 있습니다. 이 장치의 주요 구성 요소에는 자동 증착실, 서셉터 및 웨이퍼 트랜스포터, epi-ready 챔버, 듀얼 챔버 전자 레인지 발전기 및 여러 추가 액세서리가 포함됩니다. 원자로는 실리콘 웨이퍼를 높은 진공 환경에 노출시켜 작동합니다. "서셉터 '는" 웨이퍼' 를 생산 단계 의 공정 위치 로 올리고 "웨이퍼 '수송기 는" 웨이퍼' 를 다시 무대 에서 저장 "베이 '로 옮긴다. 감수기, 웨이퍼 수송기 및 생산 단계는 모두 전기로 구동됩니다. epi-ready 챔버는 궁극적 인 증착 과정이 진행되는 곳입니다. "실리콘 ', 이산화규소 또는" 실리콘' 과 같은 정밀 한 분만기 는 소스 물질 "빈 '으로부터 얇고 균일 한" 필름' 의 형태 로 가열 된 "서셉터 '로 재료 를 공급 한다. 그런 다음, 이 퇴적 된 재료 는 "웨이퍼 '에 원하는 기능 을 생성 하는 다른 공정 을 연마, 에칭 또는 복용 시킨다. 마이크로파 생성기는 공구에서 가장 정교한 구성 요소입니다. 그것 은 "마이크로 '파" 에너지' 를 생성 하여 "웨이퍼 '를 정확 하게 가열 하고 매우 정확 하고 일관성 있는 박막 증착 을 가능 케 하는 데 사용 된다. 생산자 GT 반응기의 이중 챔버 마이크로파 발전기에는 4 개의 독립 안테나, 2 개의 마이크로파 제어 박스 장치 및 여러 RF 소스가 포함됩니다. "마이크로 '파 발전기 는 또한" 에너지' 효율적 이고 기판 전체 에 균일 한 극히 낮은 온도 의 기질 가열 을 공급 해 주며, 따라서 기판 의 열 손상 을 방지 한다. 자산의 다른 고급 기능으로는 고급 안전 인터 록 (advanced safety interlock), 서셉터 높이와 온도의 자동 교정, 폐쇄 루프 온도 제어 등이 있습니다. 이러한 모든 기능을 통해 AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT Reactor는 고급 반도체 응용 프로그램을위한 가장 고급적이고 안정적인 증착 시스템 중 하나입니다.