판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9233074
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판매
ID: 9233074
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2007
CVD System, 12"
Control system: Device net protocol
EFEM Communication: SFEM
Wafer sliding detection sensors: LCF
Signal tower: Common SPEC
Door interlock sensor
Pressure difference interlock: LL->TM->Chamber
Slit valve:
L-Motion
No viton o-ring
Air regulator
EYE Mark display on M/C: LP1, LP2
Chamber A / B / C
Gas box
Turbo pump
RPC
RF Generator
Match
Electric valve & Load lock & Tm installed
TM Blade: ALN
No o-ring in chamber region
No gate valve o-ring & Air regulator
Missing / Detaching parts:
(6) HARP AIN Heaters P/N: 0010-59796
Q-Code Q400-168177
FI. RT, FE Computer
Practical preventing system in EFEM: 0.065µm Filter / Venting air
Process: HARP, BPSG, ARC, P-TEOS
Blue electrostatic chuck: Low temp 300° C
Turbo screen location: Below chamber
Heat exchanger: SUS Connector & Power vaccine
Upgrade list pin mechanism: Dual lock list pin
RF Reflect filter system / BIAS: Auto match
Heat exchanger coolant: ZT180
Chamber lift speed: Stepping motor
ESC Water leak
RF Generator reflect power: Below set point 0.5%
Input / Output port stage: OHT
FOUP Capability: (25) Slots
System monitor: LCD
Remote monitor: Keyboard, LCD
Gas line: 5- RA surface mounted c-seal
Gas configuration: C3H6, O2, NF3
Gas line polishing: E/P 5-RA
Filter: SUS316 SS/NF3 Hastelloy
Gas box temperature: Display by digital gauge
Negative voltage MFC signal: Display interlock
Chamber pump: SAMSUNG
Load lock & TM Pump
Tempered type: Capacitance manometer for chamber pressure control
Pressure transducer for chamber: ATM Switch
TM & Load lock fore line shut-off valve: Electric valve
General power & UPS Power: AC Rack design change for VDP
Ground for D-net: Chassis
Circuit safeguard: Circuit breakers
Internal utility line color: SEMI Standard
Head exchanger: Pressure control
2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 고급 회로 제조를위한 증착 공정 솔루션을 제공하기 위해 설계된 수직 전기 화학 증착 원자로입니다. 이 원자로는 알루미늄 (Aluminum), 구리 (Copper) 및 티타늄 (Titanium) 과 같은 다양한 기질에서 품질 증착 과정을 제공하도록 설계된 부리 형 원통형 용기입니다. AMAT Producer GT-800 및 APPLIED MATERIALS Producer GT-1000의 두 가지 모델로 제공되며 구리 도금, 무전기 구리 도금, ALD 및 CVD 프로세스와 같은 여러 프로세스 기능을 위해 조정 가능한 공정 챔버를 갖추고 있습니다. 이 디자인은 수직 혈관, 저열 질량 커패시터, 통합 기판 지원을 결합한 고가로 비율 비커 아키텍처를 기반으로합니다. 이 형상은 반응 용기의 접촉과 벽 (wall) 사이에 균일한 공간과 접촉하는 저저저항 전기 접점 (low-resistance electrical contact) 으로 균일 하고 확장 가능한 프로세스를 생성합니다. 또한 생산자 GT는 고급 맞춤형 소프트웨어 및 하드웨어 옵션과 함께 제공되어 정확한 프로세스 제어를 지원합니다. 이를 통해 현실적이고 일관된 프로세스 매개변수로 쉽게 작동, 재생성 가능한 전기 도금 결과를 얻을 수 있습니다. 공정 챔버는 엄격한 공정 제어 및 진공 세척 절차 덕분에 오염으로부터 보호됩니다. 이 설계는 최적화된, 사용자 친화적 인 액체 전달 장비와 정교한 펌프 제어 로직 (Pump Control Logic) 을 결합하여 높은 처리량으로 정확하고 일관성 있고 반복 가능한 전기 도금 솔루션을 제공합니다. 원자로는 프로그램의 정확성과 반복성을 위해 고급 온도 관리 (Advanced Temperature Management) 와 공정 중 수분 수준을 제어하는 통합 습도 제어 시스템 (Integrated Humidity Control System) 을 갖추고 있습니다. 고급 제어 장치 (Advanced Control Unit) 는 시간, 온도, 압력, 두께 및 기타 중요한 프로세스 매개변수에 대한 측정을 통해 프로세스를 실시간으로 모니터링합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT 원자로의 다양한 맞춤형 옵션은 뛰어난 전기 화학 증착 솔루션 기능을 제공합니다. 공정 제어 (exceptional process control) 를 통해 광범위한 기판에서 광범위한 재료를 증착 할 수 있습니다. 사용자 친화적인 고급 시스템은 향상된 유연성과 반복 가능한 결과를 제공합니다.
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