판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9228298

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 반도체 제조에 사용되는 차세대 반도체 원자로입니다. 이 원자로는 고급 리소그래피 (lithography) 장비에 맞게 조정되었으며, 최신 분산 열 및 입자 제어를 제공합니다. 원자로 (reactor) 는 결함이 낮고 기능 정밀도가 중요한 프로세스를 최적화하도록 설계되었습니다. AMAT Producer GT는 프로세스 챔버와 서브 컴포넌트의 두 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 공정 챔버에는 웨이퍼 카세트와 오버 헤드 옵틱, 마이크로 웨이브, 자기 공명, 레이저 및 이온 임플란트 시스템이있는 공정 모듈이 포함되어 있습니다. 하위 구성 요소에는 플라즈마 소스, 펌프, 칠러, 가스 전달 시스템, 전원 공급 장치 및 자동화가 포함됩니다. 플라즈마 소스는 입자가 적은 높은 이온 밀도 플라즈마 이온 소스를 생성하도록 설계되었습니다. EMI 교란을 방지하기 위해 RF 차폐 케이스로 둘러싸여 있습니다. "가스 '전달 장치 는" 가스' 의 흐름, 압력 및 온도 를 정확 히 제어 하는 데 사용 된다. 가스는 격리되고 누출되지 않도록 설계되었습니다. 전원 공급 장치는 저전력 소비를 위해 특별히 설계되었으며, 모든 프로세스 모듈에 고르게 전원을 공급합니다. 시스템 전압 변동을 수용하여 프로세스 중단 위험을 줄일 수 있습니다 (영문). 진공펌프 (vacuum pump) 는 압력 요구의 변화가 크더라도 정확한 제어 및 신뢰할 수있는 작동을 가능하게하는 터보 분자 (turbomolecular) 설계입니다. 냉각기는 안정적인 기판 처리에 필요한 일관된 냉각을 제공합니다. 원자로는 3D 스캔 이미징 기술을 사용하여 리소그래피에 대한 최적화된 프로세스 매개변수 (process parameter) 요구 사항을 만듭니다. 이러한 구성 요소 조합은 기능을 22nm까지, 결함이 낮게 매우 균일하게 처리합니다. APPLIED MATERIALS Producer GT의 자동화 기능은 high-mix 및 low-volume 반도체 생산에 이상적인 솔루션입니다. 프로그래밍 가능한 웨이퍼 스케줄링과 프로세스 매개변수 (process parameter) 및 프로세스 레시피 관리에 대한 엄격한 제어를 통해 멀티챔버 (multi-chamber) 처리 요구를 처리하도록 설계되었습니다. 또한 자가 모니터링 및 자가 조정 기능을 통해 시동 시간을 줄이고 플랫폼 가동 시간을 늘릴 수 있습니다 (영문). AMAT는 TCO (소유 비용) 를 최소화하면서 생산성과 생산성을 극대화할 수 있도록 Producer GT를 설계했습니다. 이 원자로는 반도체 공정 제어 (process control) 기능을 최적화하려는 제조업체에 이상적인 솔루션입니다.