판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9206068

PGT라고도하는 AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 실리콘 웨이퍼를 처리하기위한 도구입니다. 그것은 클러스터 유형 플랫폼을 사용하고 많은 기능을 제공하는 모듈식 원자로입니다. AMAT Producer GT는 PSC (Process Step Chamber), Central Controller 및 Transfer System의 세 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. PSC는 시스템의 핵심이며 Central Controller에 의해 제어됩니다. 모든 처리가 수행되는 원통형 챔버입니다. 내부 에, 여러 개 의 열 격리 된 "가스 '" 인젝터' 가 "웨이퍼 '가 들어 있는" 플랜지' 를 둘러싸고 있다. 인젝터 (injector) 는 챔버의 온도 및 압력을 정밀하게 조절하여 산화 (oxidation) 및 에칭 (etching) 과 같은 과정을 정확하게 제어 할 수 있습니다. PSC 안팎으로 웨이퍼를 전송하기 위해 APPLIED MATERIALS Producer GT (APPLIED MATERIALS Producer GT) 에는 다양한 전송 시스템이 장착 될 수 있습니다. 표준 전송 시스템에는 입구 포트, 로드 락 및 웨이퍼 체인저가 포함됩니다. 사용 가능한 다양한 자동 및 수동 전송 시스템도 있습니다. PGT는 300, 200mm 웨이퍼를 모두 처리할 수 있으며, 다양한 웨이퍼 유형을 받아들이고 처리 할 수 있습니다. 섭씨 50 ~ 1200도의 넓은 처리 온도 범위와 1 ~ 50 Torr의 압력 범위를 제공합니다. 이를 통해 산화, 에칭, 증착 등과 같은 다양한 프로세스가 가능합니다. 생산자 GT는 또한 정확한 제어 기능, 자동 전송 시스템 (Automated Transfer System) 및 잘 설계된 센서 덕분에 뛰어난 반복성과 정확성을 제공합니다. 이를 통해 다른 프로세스와 웨이퍼 유형에서 지속적으로 높은 수율과 생산량을 얻을 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 다양한 반도체 및 태양 광 응용 분야에 적합한 도구입니다. 광범위한 웨이퍼 (wafer) 유형을 비용 효율적이고 안정적으로 처리할 수 있으며, 뛰어난 반복성과 정확성을 제공합니다. 이 도구는 모듈식이며 쉽게 사용자 정의할 수 있으므로 프로덕션 및 R&D 응용 프로그램에 적합합니다.