판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9203130

AMAT/APPLIED MATERIALS 생산자 GT Reactor는 복합 반도체 재료의 상업적 생산을 위해 설계된 다재다능하고 고효율 에피 택시 성장 장비입니다. 이 시스템은 다양한 성장 온도 (growth temperation) 와 지속 시간 (durations) 을 가진 레이어의 성장을 촉진하여 고급 반도체 제품의 제조에 필수적인 고품질 장치 구조의 증착을 가능하게합니다. 원자로는 정확한 성장 온도 조절 및 균일 한 가열이 가능한 고급 용광로 스테이지 (furnace stage) 설계로 제작되었습니다. AMAT 생산자 GT 원자로에는 에피 택시 레이어 품질을 향상시키기 위해 확산, 산화 및 열 처리 기능이 장착되어 있습니다. 또한 정확한 가스 흐름 제어를 제공하는 현장, 4 구역, 가스 확산 장치가 포함되어 있습니다. 또한, 기판 동작 및 온도 조절을위한 고성능 기판 열 단계 플랫폼 (수동 개입없이 자동 기판 전송) 을 포함합니다. APPLIED MATERIALS 생산자 GT 머신은 또한 고급 가스 버블러 (gas bubbler) 를 특징으로하여 정밀한 질량 흐름과 가스 농도의 일정한 흐름을 안전하고 편리하게 제공합니다. 이를 통해 모든 컴포넌트가 원하는 노출 기간 동안 각 (reactant) 가스에 정확하게 노출되어 각 배치에 대해 일관된 장치 성능이 보장됩니다. 이 툴의 자동화 아키텍처 (Automation Architecture) 는 자산 성능에 영향을 미치지 않으면서 처리량이 많은 워크로드를 최적화하도록 설계되었습니다. 레시피 설정, 경고 응답 처리, 대기열 우선 순위 관리 등의 개별화된 작업 관리 기능은 모델 활용도를 극대화합니다. 또한 통합 프로세스 인텔리전스 (Integrated Process Intelligence) 를 사용하면 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 제공하여 프로세스 매개변수를 신속하게 시각화할 수 있습니다. 이를 통해 프로세스 데이터에 대한 구성 가능한 다차원 뷰를 제공하여 안정적이고 정확한 의사 결정을 수행할 수 있습니다. 생산자 GT 원자로 (Producer GT Reactor) 는 프로세스 유연성을 극대화하여 사용자가 한 레시피에서 다른 레시피로 빠르고 쉽게 전환할 수 있도록 합니다. 게다가, 효율적인 장비 기술은 가스 소비를 최소화하고, 프로세스 생산량을 향상시키며, 다운타임을 줄여줍니다. 고품질의, 매우 복잡한 반도체 소자 구조를 비용 효율적인 방식으로 제공함으로써, 원자로는 대용량, 상업용 반도체 소자 생산에 대한 큰 가치 제안을 제공합니다.