판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9169317

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 반도체, 광전자 및 태양 전지에 대한 다양한 재료의 넓은 면적과 박막 층을 생산하도록 설계된 단일 웨이퍼 또는 배치 열 화학 증기 증발 (CVD) 원자로입니다. 아마트 (AMAT) 생산자 GT 원자로는 "정밀 기능 '과 다용도 공정 기능으로 유명하다. 이 시스템에는 33 리터의 양과 1000 ° C의 온도 범위를 가진 고품질 공정 챔버 (High Quality Process Chamber) 가 장착되어 있습니다. 최대 300mm x 300mm 웨이퍼 (wafer) 처리 기능을 통해 안정적인 프로세스 제어 및 균일성을 보장하는 견고한 설계를 제공합니다. 특유의 균일 한 복사 열 흡수 설계 (uniform radiant heat absorber design) 는 더 나은 공정 제어 및 높은 처리량을 위해 기판 및 공정 가스 모두에 균일 한 가열을 보장합니다. APPLIED MATERIALS 생산자 GT 원자로는 최첨단 공정 컨트롤러로 구동됩니다. 수동 (manual) 및 자동 (automated) 웨이퍼 모양을 모두 지원하는 고급 알고리즘을 통해 사용자가 다양한 웨이퍼 유형과 크기에 대해 프로세스 성능을 최적화할 수 있습니다. 컨트롤러는 또한 다양한 레시피를 지원하므로, 프로세스를 쉽게 프로그래밍하고, 다른 재료에 대한 설정을 최적화할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 여러 가스 소스 (gas source) 와 밸브 (valv) 를 갖추고 공정에 따라 정확하고 사용자 정의 가능한 가스 흐름을 제공합니다. 또한 처리 중 정확하고 빠른 가스 교환을위한 높은 진공 펌핑 모듈 (vacuum pumping module) 과 정확한 재료 전달을위한 도가니 삽입 (crucible insert) 이 특징입니다. 생산자 GT 원자로는 현대 반도체, 광전자 및 태양 전지 응용 분야에 이상적인 선택입니다. 혁신적인 디자인, 견고한 구성, 정확한 제어, 다용도 프로세스 기능 덕분에 고품질의 박막 (Thin Film) 과 넓은 영역 레이어 (Repeativity and Unifority) 를 효율적으로 생산할 수 있습니다.