판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9152528
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 반도체 산업에서 에칭을 위해 널리 사용되는 세계 최고의 플라즈마 원자로입니다. 제어 가능한 고밀도 에너지를 제공하여 다양한 기판 응용 프로그램 (예: 박막, 벌크 반도체, 디스플레이) 에서 정확하게 제어할 수 있습니다. AMAT 생산자 GT는 독특한 대기 압력, 저에너지, 유도 결합 플라즈마 방전을 사용하며, 기판 전체에 걸쳐 우수한 공정 균일성을 가지고 매우 안정적입니다. "플라즈마 '공정 은 조정 가능 한 공급 및" 바이어스' 동력 에 의하여 응용물 에 맞추어 조정 되며, 그것 은 광범위 한 재료 와 "필름 '에 적합 하다. 프로세스의 닫힌 루프 제어 (closed loop control) 는 높은 생산 요구에도 반복 가능한 결과와 함께 최고의 정밀도를 가능하게합니다. 표면 오염 또는 분해를 방지하기 위해 공정 온도는 200 ° C 미만으로 낮게 유지됩니다. "이온 '과" 전자' 원 은 부가적 인 압력 조절 과 더불어 안정적 인 과정 을 수행 하여 안정적 인 생산량 을 보장 해 준다. APPLIED MATERIALS 생산자 GT (APPLIED MATERIALS Producer GT) 는 프로세스 속도 및 처리량 향상을 목표로 광범위한 추가 기능을 제공합니다. 그중에는 빠른 전극 아크 오버 보호, 빠른 재점화 및 원격 샘플 분석이 있습니다. 프로세스 가스 흐름 시스템은 각 응용 프로그램에 대해 독립적으로 튜닝되어 최고의 에칭 프로파일 (etching profile) 을 제공 할 수 있습니다. 원자로 (reactor) 는 매우 효율적이고 비용 효율적이며, 모듈식 설계로 유지 보수가 가능하고 간단한 프로세스가 됩니다. 공정 챔버 (process chamber) 는 부식 내성 물질로 만들어졌으며, 이는 원자로의 장기 신뢰성 및 안전성을 높이는 데 도움이됩니다. 생산자 GT (Producer GT) 는 매우 다양하고 신뢰할 수있는 원자로로, 가능한 한 가장 효율적인 방법으로 최고 해상도의 에칭 품질을 생산하도록 설계되었습니다. 그 독특 하고 강력 한 "디자인 '은 그것 이 제공 하는 여러 가지 특징 과 결합 하여 가장 복잡 하고 요구 되는" 반도체' 응용 에 이상적 이다.
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