판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #293822848

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 폴리 실리콘, 질화물 실리콘 및 이산화실리콘과 같은 실리콘 함유 재료의 박막을 퇴적시키는 데 사용되는 플라즈마 강화 화학 증기 증착 (PECVD) 원자로입니다. 원자로 (Reactor) 는 고급 처리 성능을 최적화하고 최고 1000nm/hr 속도로 높은 균일성과 최고 수준의 필름 품질을 제공하도록 설계되었습니다. 이중 RF 소스 구성 (split cored) 은 특정 애플리케이션의 요구 사항을 충족하기 위해 증착된 자료의 유연한 전력 및 속도 제어를 가능하게 합니다. 커다란 "서셉터 '크기 와" 통일성' 조절 을 통해 "웨이퍼 '와 같은 거대 한 기판 에 재질 을 증착 시키면서도 장치 크기 에 대한 정확 한 조정 을 가능 하게 하는 데 이상적 이다. 약실은 독립적 인 압력 제어 (pressure control) 와 상부 및 하부 구역을위한 별도의 진공 수준 (vacuum level) 을 갖는 2 개의 수직 공정 영역으로 나뉩니다. 이 설계는 다른 속도로 재료를 증착 할 수 있으며, 다른 프로세스 간의 교차 오염을 방지합니다. 또한, 원자로는 챔버 전체와 2 개의 수직 공정 영역 (vertical process zone) 사이에서 균일 한 온도 제어를 유지하기 위해 고급 수직 냉각 기능으로 설계되었습니다. 고급 CLT (Closed-Loop Testing) 장비는 프로세스 매개변수를 실시간으로 빠르게 측정하고 조정하므로, 정확한 필름 품질과 매우 높은 균일성을 보장합니다. PECVD 시스템은 사이드 월 증착, 하이 레이트 증착, 로우 k 증착, 평면 화, etch/스트립 및 멀티 레이어/스택 증착을 포함하여 다양한 응용 프로그램에 대한 다양한 옵션으로 구축됩니다. 또한, 이 장치에는 가능한 오염을 최소화하는 DLF (Dynamic Low Fluoride) 옵션과 같은 고급 가스 공급 시스템이 추가 장착 될 수 있습니다. 간단히 말해서, AMAT Producer GT PECVD 원자로는 사용하기 쉽고 균일성 제어 (unifority control) 기능이 뛰어난 고급 머신으로, 특정한 요구 사항을 충족할 수 있는 유연성을 갖춘 최고의 필름 품질을 제공합니다.