판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #293618158
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ID: 293618158
빈티지: 2008
Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) system
EFEM
Load port
PC
(2) KAWASAKI 3NX510B-D001 Desk handlers
KAWASAKI 30D61I-A003 Holding controller
Transformer
BROOKS Mag8 0190-25011 Robot
Robotic arm
(3) RPS 3L
(3) Apex 3013 RF Generator
(3) Heaters
(3) Chambers
(3) Power boxes missing
Gas configuration:
NF3 1000sccm
NF3 1000sccm
Ar 5000sccm
(2) O2 15000sccm
C3H6 3000sccm
He 5000sccm
He 15000sccm
N2 15000sccm
Ar 15000sccm
2008 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 다양한 기판에 박막을 입금하도록 설계된 고급 열 증발기 장비입니다. 주로 전자 재료 및 부품 제조에 사용됩니다. AMAT 생산자 GT (AMAT Producer GT) 는 제조업체의 정확한 사양에 박막 증착에 탁월한 신뢰성과 정확성을 제공합니다. 이 시스템은 실리콘, 알루미늄, 티타늄 및 기타 금속을 포함한 다양한 물질을 증착 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Producer GT는 전자 빔 증발기를 사용하여 기판에 매우 균일 한 얇은 필름을 입금합니다. 전자 빔 (electron-beam) 은 소스 물질을 전자 도가니 속에서 가열 한 다음 전자 빔 (electron beam) 을 발사하여 물질을 기판으로 증발시킨다. "빔 '은 더 두꺼운" 필름' 을 퇴적 시키기 위하여 기판 의 한 부분 에 집중 될 수 있고, 더 균일 한 "필름 '을 생산 하기 위하여 여러 지역 에 걸쳐" 빔' 을 퍼뜨릴 수 있다. 빔은 나노 미터 (sub-nanometer) 에서 마이크로 미터 (micro-meter) 에 이르는 두께를 가진 필름을 생성 할 수 있습니다. 소스 재료의 온도는 흑연 서셉터 (graphite susceptor) 에 의해 제어되며, 이는 고주파 유도에 의해 가열된다. 이 고주파 유도 및 감수기 가열의 조합은 정확한 온도 조절 및 균일 한 강착을 제공합니다. 생산자 GT에는 챔버 대피를위한 진공 장치 (vacuum unit) 와 기판 장착을위한 기판 (baseplate) 도 포함되어 있습니다. 진공기에는 터보 펌프 (turbo pump), 머플러 (muffler) 및 동축 대피를위한 활성 기계 펌프가 포함됩니다. 이것 은 "필름 '증착 에 대한 원하는 분위기 를 유지 하기 위하여 대피 과정 을 정확 하게 제어 할 수 있게 한다. 마지막으로, AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT에는 누출 탐지를위한 고해상도 질량 분석기와 향상된 프로세스 제어를 위한 중복 백업 도구가 장착되어 있습니다. 고해상도 질량 분광계 (high-resolution mass spectrometer) 는 전체 프로세스 압력의 정확한 결정을 통해 정확한 프로세스 반복성을 가능하게하도록 설계되었습니다. AMAT 프로듀서 GT (AMAT Producer GT) 는 박막 증착을위한 정확성과 균일성을 제공하는 고급적이고 신뢰할 수있는 열 증발기 자산입니다. 정교한 전자 재료 및 부품 제조에 이상적입니다.
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