판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #293616132
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 최대 전구체 조건으로 최대 생산성을 제공하도록 설계된 고급 원자로입니다. 원자로를 사용함으로써, 회사는 영화 증착 목표를 쉽게 달성 할 수 있습니다. AMAT Producer GT는 TFD (Thin Film Deposition) 프로세스를위한 혁신적인 프로덕션 플랫폼입니다. APPLIED MATERIALS Producer GT는 평면 마그네트론 스퍼터링 증착 기술을 사용합니다. 이 기술은 전체 기판에서 균일 한 증착률을 보장하며, 최대 8 개의 웨이퍼로 단일 웨이퍼 처리를 허용합니다. 이것은 증착률과 필름 품질을 높입니다. 또한, 대칭 펌핑 구조는 기질의 온도 구배를 방지하여 왜곡을 최소화하고 균일성을 향상시킵니다. 챔버는 빠른 펌프 다운 시간과 높은 처리량을 제공하는 2 개의 별도의 2 단계 터보 펌프가있는 원형 디자인입니다. 이 장치는 여러 재료를 포함하는 최대 4 개의 타겟으로 작동하며, 원자로 확장 버전으로 2 개의 추가 대상을 처리 할 수 있습니다. 사용 된 자기 필터 (magnetic filter) 는 선과 호를 방지하고 균일 한 증착률을 제공합니다. 생산자 GT (Producer GT) 의 추가 기능에는 실시간 프로세스 모니터링 시스템이 포함되어 있어 프로세스 품질을 빠르게 조정할 수 있습니다. 이 "시스템 '은 또한 가능 한 최상 의" 필름' 질 을 제공 하기 위하여 각 기판 에 대한 상세 한 조리법 을 생성 할 수 있다. 또한 자동 리프트 (AutoLift) 기능을 사용하면 리프트 및 대상 각도를 수동으로 조정할 때 여분의 시간이 낭비되지 않도록 빠르고 간편한 뷰 변경 (field of view changes) 을 수행할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 Thin Film Deposition 프로세스에 적합한 높은 처리량과 필름 품질을 제공하도록 설계된 고급 원자로입니다. 평면 마그네트론 스퍼터링 (sputtering) 기술, 2 단계 터보 펌프, 자기 필터, AutoLift 기능을 통한 실시간 프로세스 모니터링, 필름 증착 작업을 손쉽게 수행하고 고품질 제품을 생산할 수 있는 기회를 제공합니다.
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