판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #293616131

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 에칭 및 박막 증착에 사용되는 반응성 가스 충전 튜브 원자로 (RGR) 입니다. 그것 을 사용 하여 "가스 ', 온도, 압력 및 시간 을 정밀 하게 제어 하여 여러 가지 박막 증착 진화 를 프로그래밍 할 수 있다. 이 RGR은 반도체 및 광전자 장치 처리에 일반적으로 사용되는 것을 포함하여 다양한 박막 증착 (thin film deposition) 응용 프로그램을 수행하는 데 이상적입니다. 원하는 작동 압력을 유지하면서 AMAT 생산자 GT의 가스 전달 장비 (GT) 는 여러 가스원 사이에서 쉽고 빠르게 변화합니다. 이 기능은 실행 (run) 간에 프로세스 가스를 변경하는 데 소요되는 시간을 줄여 처리량을 높입니다. 또한 정확성은 박막 증착 진화의 전반적인 성능을 향상시킵니다. APPLIED MATERIALS 생산자 GT는 조정 가능한 주파수 범위가 0 - 600kHz 인 3 중 주파수 반응성 이온 에치 (RIE) 전류 소스와 고출력 (> 200W) 을 가지고 있습니다. 이 기능을 사용하면 균일 한 프로파일을 사용하여 섬세한 기판의 에치 레이트를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 생산자 GT의 온도 조절 시스템은 안전하고 일관된 작동 온도를 유지하도록 설계되었습니다. 필요한 경우 작동 온도를 자동으로 조정하도록 구성되며 온도 범위 (5 - 400C) 로 설정할 수 있습니다. 이 온도 범위 가드는 박막 증착과 에칭을 모두 신뢰할 수있는 처리를 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 에칭 및 증착에 대한 전류 및 전압 설정을 모니터링하기 위해 닫힌 루프 피드백 장치를 사용하여 설계되었습니다. 이 시스템은 최적의 성능을 유지하기 위해 설정을 지속적으로 조정합니다. 또한, RGR에는 필요할 때 에치 챔버 (etch chamber) 를 열고 닫는 자동화된 셔터 도구가 장착되어 있습니다. 이를 통해 자산은 고립 된 대기권에서 작동 할 수 있으며, 대기 조건의 균일성 (unifority) 과 제어 (control) 를 향상시킬 수 있습니다. 마지막으로, AMAT Producer GT는 챔버의 작동 매개변수를 모니터링하는 완전한 안전 모델로 설계되었습니다. 이 장비는 유해 릴리즈를 감지하여 운영자 (Operator) 와 장치 (Device) 의 안전을 보장합니다. 편차가 발생하면 가청 및 시각 경보를 제공합니다. 전반적으로 APPLIED MATERIALS Producer GT는 박막 증착 및 에칭 응용 프로그램을 최적화하기 위해 설계된 고성능 반응성 가스 충전 튜브 원자로입니다. RIE (Triple-Frequency Reactive Ion Etch) 전류 소스, 가스 모니터링 시스템, 온도 제어 장치, 폐쇄 루프 피드백 기계, 자동 셔터 도구 및 전체 안전 자산이 있습니다. 생산자 GT는 반도체 및 광전자 장치를 처리하기위한 안정적이고 정확한 장치입니다.