판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #293606162

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ID: 293606162
빈티지: 2009
System (3) Chambers 2009 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT (AMAT Producer GT) 는 III-V 화합물 반도체 재료의 증착을 위해 설계된 고급 분자 빔 에피 택시 장비입니다. 이 시스템은 다양한 가스, 전구체, 클러스터 소스를 갖춘 완전 자동 (fully automated) 구성으로, 실시간 프로세스 제어를 지원하므로 고급 프로세스 개발, 동급 최강의 디바이스 제작을 위한 최적의 선택입니다. APPLIED MATERIALS Producer GT는 수평/수직 기하학에서 전체 웨이퍼 공정 기능을 제공하며 1-10 마이크로 미터 균일 및 부드러운 필름을 뛰어난 균일성으로 입금 할 수 있습니다. 생산자 GT 원자로는 매우 정확하고 실시간 프로세스 제어를 특징으로하며, 모든 두께의 레이어 수정을 용이하게 할 수 있습니다. 이 장치는 고급 온도 제어 (Advanced Temperature Control) 를 통해 여러 단계 온도 램프를 수행하고 전구체 재료가 효율적으로 혼합, 원자 화, 가열되도록 할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 또한 흑연 서셉터 설계를 특징으로하며 III-V 재료를 증착하기위한 가스 가열 필라멘트가없는 기계를 갖추고 있습니다. 감수기 (susceptor) 는 빠르고 균등하게 가열되어 광범위한 온도 범위를 허용하여 응용 프로그램 별 생산 프로세스에 이상적인 솔루션이 됩니다. 고급 온도 조절과 함께이 도구에는 크세논 플래시 램프 (xenon flash lamp) 와 쿼츠 뷰 포트 (Quartz viewport) 가 있으며, 이는 단일 및 다중 계층 구조에 대한 뛰어난 균일성 및 프로세스 제어를 제공합니다. AMAT Producer GT는 원격 액세스 및 프로세스 모니터링을 위해 소프트웨어로 더욱 최적화되었습니다. 사용자 인터페이스는 매우 직관적이며 빠른 설치 및 레시피 개발을 가능하게합니다. 또한, CMP 기능에는 성장 후 수정 및 개선, 입자 제어 (Opticle Control) 를 통해 최적의 프로세스 생산성을 보장 할 수 있습니다. 또한, 자산은 최고 수준의 안전 및 환경 건강을지지하도록 설계되었습니다. 자동 퍼지 모델 (automated purge model) 과 질소 공급 (nitrogen supply) 이 특징이며 처리 중 에피 시언트 및 신뢰할 수있는 청결 제어를 제공합니다. 요약하자면, APPLIED MATERIALS Producer GT는 III-V 화합물 반도체 재료의 증착을위한 이상적인 분자 빔 에피 택시 솔루션입니다. 이 제품은 효율적이고, 강력하며, 유연성이 뛰어난 장비로, 고급 프로세스 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다.
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