판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #293600877

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 반도체 장치 제조에 사용되는 단일 웨이퍼 빠른 열 처리 (RTP) 장비입니다. 이 시스템은 고성능 (High Performance) 과 처리량 (Throughput) 을 위해 설계되었으며 여러 가스의 옵션과 빠른 다중 사이클 온도 프로파일링을 제공하는 기능을 갖추고 있습니다. RTP 장치는 프로세스 챔버로 쿼츠 튜브 (quartz tube) 를 사용하며, 흑연 서셉터는 전기로 구동되는 할로겐 램프에서 웨이퍼로 열을 운반합니다. 감수기에는 정확한 온도 조절 및 균일 한 가스 전달을 제공하는 열전대 및 가스 분사 노즐 (thermocouple and gas injection nozzle) 이 장착되어 있습니다. "가스 '의 흐름 은 분자" 빔' 방패 를 통해 전달 되며, 주변 공기 와 수소, 질소 또는 기타 공정 "가스 '의 정밀 혼합물 을 제공 하도록" 프로그램' 될 수 있다. AMAT 생산자 GT (AMAT Producer GT) 는 또한 웨이퍼의 온도가 임계 수준을 초과하지 않도록 백 사이드 냉각 시설을 갖추고 있습니다. 공정 챔버 (process chamber) 의 뒷면을 모니터링하고 웨이퍼 (wafer) 의 잠재적 과열 (over-heating) 을 감지하기 위한 고급 광학 감지 기술도 갖추고 있습니다. APPLIED MATERIALS 생산 업체 GT (APPLIED MATERIALS Producer GT) 는 또한 완전하고 직관적인 웨이퍼 처리 기계를 갖추고 있어 와퍼가 안전하고 오류 없는 방식으로 쿼츠 튜브 안팎으로 미끄러져 나갑니다. 이 도구는 샘플 로드/언로드 로봇, 웨이퍼 매핑 시스템, 다중 영역 (multi-zone) 사전 열 시스템 등의 다양한 옵션으로 구성할 수도 있습니다. 또한, 프로듀서 GT (Producer GT) 는 광범위한 공정 온도와 빠른 열 감시를 지원하므로 고온 공정 레시피와 부드러운 처리에 이상적입니다. 또한 웨이퍼-서셉터 (Wafer-to-Susceptor) 거리가 단단한 내성 내에서 유지되도록 서셉터 플랫폼의 자동 레벨링을 제공합니다. 이 자산에는 고급 모니터링 (monitoring) 및 진단 (diagnostic) 기능이 장착되어 있어 프로세스 엔지니어가 프로세스 레시피를 원격으로 모니터링하고, 환경 및 프로세스 결과를 모니터링하고, 중앙 위치에서 모델을 제어할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 또한 전원 장애 시 비활성 가스 제거 장비, 과열 방지, 자동 차단 등 안전 기능이 내장되어 있습니다. 전반적으로, AMAT Producer GT는 반도체 장치 제조를 위한 빠르고 효율적인 RTP 처리 솔루션을 제공하는 강력하고 안정적인 시스템입니다. 최적의 성능과 정확성을 위해 설계되었으며, 빠른 열 어닐링 (rapid thermal annealing), 빠른 열 산화 (rapid thermal oxidation) 및 얕은 접합 형성 (shallow junction formation) 과 같은 다양한 응용 분야에 적합합니다.