판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS PRODUCER GT ETERNA #9305821

AMAT / APPLIED MATERIALS PRODUCER GT ETERNA
ID: 9305821
웨이퍼 크기: 12"
PECVD System, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER GT ETERNA는 현대 반도체 제조를 위해 특별히 설계된 업계 최고의 고급 증착 장비입니다. 사용 가능한 가장 고급적이고 신뢰할 수있는 증착 시스템 중 하나로, 가능한 한 높은 수율과 증착 후 공정 폐기물 (post-deposition process waste) 을 얻을 수 있도록 설계되었습니다. GT 이터나 (ETERNA) 는 대형, 소형 및 혼합 크기 웨이퍼 간의 완전 자동 기판 크기 판별, 통합 ICOS ® 기술을 통한 웨이퍼 레벨 균일성 제어 등의 다양한 기능을 제공합니다. 이 시스템은 또한 고밀도 플라즈마 (plasma) 를 허용하며, 최대한의 균일성과 처리량을 보장하는 고급 가스 흐름 기술을 제공합니다. GT 이터나 (ETERNA) 는 가스 소스 및 코일 시스템을 포함하여 균일 한 구성 요소가있는 다양한 증착실 설치 옵션을 제공합니다. 또한 다양한 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 사용하여 필요에 맞게 구성할 수 있으며, 모든 반도체 프로세스에 적합한 유연한 플랫폼을 제공합니다. 또한, GT ETERNA에는 회전 가능한 로드 잠금 장치 (rotatable load-lock unit) 가 장착되어 챔버 레벨 프로세스와 동일한 방식으로 웨이퍼를 교환 할 수 있습니다. 또한, GT 이터나 (ETERNA) 는 혁신적인 저금속 설계를 제공하여 챔버 유지 보수 (chamber maintenance) 의 성능 향상과 균열 형성을 제거하고 추가 마스크의 필요성을 제거하는 오염 방지 뚜껑을 제공합니다. 또한 가장자리 결함을 식별하는 자동 시력 제어 (Automated Vision Control) 기능을 통해 기판 가장자리 품질을 향상시킬 수 있습니다. 또한, 이 시스템은 간편한 작동 및 유지 관리 기능을 제공하며, 포트 커버를 위한 빠른 릴리즈 (quick-release) 메커니즘과 웨이퍼를 위한 복잡하지 않은 로드/언로드 시스템을 제공합니다. 결론적으로, AMAT PRODUCER GT ETERNA는 시장에서 사용할 수있는 가장 고급적이고 신뢰할 수있는 증착 시스템 중 하나입니다. 독보적인 특징과 유연성을 통해 최신 반도체 (semiconductor) 제작을 위한 최적의 선택으로, 획일성, 처리량, 생산량을 극대화할 수 있습니다. 혁신적인 디자인과 최첨단 기술로 현대 반도체 (반도체) 시설에 필수적인 도구다.
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