판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS PRODUCER EXT #9219513
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ID: 9219513
웨이퍼 크기: 12"
Etcher, 12"
Chamber model: Producer
Bias gen: AE APEX 5513, 13.56 MHz, max 5000W
Bias match: AE
Source gen: AE OVATION 2760, 60MHz, max 2700W
Source match: AE
GDP Size: Y2O3, 14"
Turbo pump: EDWARDS STP-F2203C
Throttle valve: VAT pendulum valve DN-250
FRC: MKS FRCA-26349, 1000 / 1000 1/4 VCR
ESC: Dual zone ceramic ESC
Cathode chillers:
ChA: SMC INR-496-003D
ChB: SMC INR-496-003D
ChC: SMC INR-496-003D
Wall Chillers:
ChA: SMC INR-496-003D
ChB: SMC INR-496-003D
ChC: SMC INR-496-003D
Process kit coating: Y203
Cooling: HT 110 / 135 / FC 3283
Mainframe configuration:
IPUP Type: TOYOTAl 100L
Gas panel type: Next gen
VHP Robot: Dual blade
MF PC Type: CPCI
Factory interface configuration:
Frontend PC type: 306M Server
FIC PC Type: 306M Server
(3) Load ports
Atmospheric robot: YASKAWA Track robot
Side Storage: Left
Dry pumps & Scrubbers:
ChA: EDWARDS iH
ChB: EDWARDS iH
Chc: EDWARDS iH
MFC Configuration: UNIT PTI-125
MFC Configuration: UNIT PTI-125
EC2-61A / Gas name / Max flow / MFC Type
Gas 1 / C4F6 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 2 / CHF3 / 400 / UNIT PTI-125
Gas 3 / CH2F2 / 100 / UNIT PTI-125
Gas 4 / CH2F2 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 5 / C4F8 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 6 / N2 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 7 / O2 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 8 / O2 / 2000 / UNIT PTI-125
Gas 9 / SF6 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 10 / CF4 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 11 / CF4 / 500 / UNIT PTI-125
Gas 12 / AR / 2000 / UNIT PTI-125
EC2-61B / Gas name / Max flow / MFC Type
Gas 1 / C4F6 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 2 / CHF3 / 400 / UNIT PTI-125
Gas 3 / CH2F2 / 100 / UNIT PTI-125
Gas 4 / CH2F2 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 5 / C4F8 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 6 / N2 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 7 / O2 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 8 / O2 / 2000 / UNIT PTI-125
Gas 9 / SF6 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 10 / CF4 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 11 / CF4 / 500 / UNIT PTI-125
Gas 12 / AR / 2000 / UNIT PTI-125
EC2-061C / Gas name / Max flow / MFC Type
Gas 1 / C4F6 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 2 / CHF3 / 400 / UNIT PTI-125
Gas 3 / CH2F2 / 100 / UNIT PTI-125
Gas 4 / CH2F2 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 5 / C4F8 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 6 / N2 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 7 / O2 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 8 / O2 / 2000 / UNIT PTI-125
Gas 9 / SF6 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 10 / CF4 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 11 / CF4 / 500 / UNIT PTI-125
Gas 12 / AR / 2000 / UNIT PTI-125.
AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER EXT는 반도체 제작 공정, 특히 붕소 가스로 실리콘 웨이퍼를 도핑하기 위해 설계된 원자로입니다. 원자로는 CMOS (CMOS) 칩 제조를위한 완전한 붕소 임플란트 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다. AMAT PRODUCER EXT는 생산자 (PRODUCER) 시리즈의 최신 버전이며 단일 웨이퍼 원자로 시스템에 대한 저렴한 대안을 제공하기 위해 개발되었습니다. APPLIED MATERIALS PRODUCER EXT 원자로는 붕소 도펀트 프로파일 생산에 최적화된 단일 웨이퍼, 수직 확산 퍼넌스입니다. 이전 단일 웨이퍼 시스템보다 최대 10 배 높은 도펀트 농도 (dopant concentration) 를 생산하고, 다양한 임플란트 각도로 초미세 라인 기능을 만들 수 있도록 설계되었습니다. 원자로는 또한 신뢰성이 높고 에너지 효율성을 높이도록 설계되었습니다. 생산자 EXT는 고급 플라즈마 소스를 사용하여 붕소 도펀트 가스를 생성합니다. 이 "플라즈마 '는 정전식 결합 된 RF" 에너지' 를 사용 하여 붕소 "가스 '를 만들어 낸 다음, 빔 라인 로 의" 웨이퍼' 에 전달 된다. 이 로 말미암아 폐기물 이 적고 생산성 이 높은 "웨이퍼 '의 원하는 깊이 에서" 붕소' 를 정밀 하게 처리 할 수 있다. AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER EXT에는 임플란트 스팟 프로파일을 모니터링하고 배치 정확도를 확인할 수 있는 고해상도 기판 뷰어가 포함되어 있습니다. 사용자는 온보드 프로세스 제어 (On Board Process Control) 소프트웨어를 사용하여 임플란트의 깊이를 제어할 수 있습니다. 이렇게 하면 원하는 도펀트 농도 프로파일이 각 웨이퍼에 달성됩니다. AMAT PRODUCER EXT는 설치와 유지 관리가 용이한 모듈식 구성 요소로 설계되었습니다. 따라서 운영 환경을 손쉽게 확장할 수 있고, 다른 임플란트 프로파일에 맞게 시스템을 재구성할 수 있습니다. 또한, 작은 크기의 APPLIED MATERIALS PRODUCER EXT는 실험실에서 대량 생산 공장까지 다양한 시설에 설치 할 수 있습니다. 생산자 확장 (PRODUCER EXT) 원자로는 반도체 제작 프로세스에 이상적인 솔루션으로, 붕소 임플란트 프로파일 생성을 위해 안정적이고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 최소 폐기물과 뛰어난 전력 효율로 매우 정밀한 용량 처리 기능과 높은 수율 (HI) 을 제공하도록 설계되었습니다. 다양한 협업공간 (facility) 유형과 크기로 설치할 수 있으며, 구성 능력이 뛰어납니다.
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