판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Process kit for Endura 5500 #293656254

Endura 5500 원자로의 AMAT Process 키트는 Endura 5500 장비를위한 필수 액세서리입니다. 여기에는 스트립핑 (stripping), 클리닝 (cleaning), 증착 (deposition) 및 도량형 (metrology) 과 같은 포토리스 연주자 또는 에치 프로세스에서 다양한 단계를 수행하기 위한 필수 도구와 컴포넌트가 포함됩니다. 프로세스 키트에는 처리 로봇, 회수 가능한 모듈, 가스 전달 시스템, 다수의 커패시터 및 현장 도량형 장치 (in-situ metrology unit) 와 같은 항목이 포함됩니다. 취급 로봇은 엔두라 5500 (Endura 5500) 원자로 근처에 위치할 수 있으며, 원자로실 안팎으로 웨이퍼와 카세트를 이동시키는 데 사용됩니다. 대피 가능한 모듈에는 샘플 대피 및 기타 작업을위한 대피 가능한 챔버 (chamber) 와 빠른 퍼지 속도 (purge speed) 를 달성하기위한 대규모 터보 분자 로터 (turbo molecular rotor) 가 장착되어 있습니다. "가스 '배달기 는 여러 가지 정밀 한" 컨트롤러' 와 "밸브 '를 포함 하여 원자로 실 에 정확 한" 가스' 압력 을 공급 한다. 커패시터는 엔두라 5500 (Endura 5500) 원자로에 직접 전기 연결을 촉진하며, 도량형 도구는 생산 과정에서 필름 두께를 자동으로 측정 할 수 있습니다. 포함된 컴포넌트는 여러 개의 필름 스택을 구현할 수 있도록 설계되었으며, 이를 통해 Endura 5500 프로세스 개발에 필요한 엔지니어링 시간이 단축됩니다. 이 프로세스 키트를 통해 사용자는 레시피, 타겟 사이클, 각 레시피 (recipe) 에 대한 데이터 로깅, 평가 등을 신속하게 최적화할 수 있습니다. 이 프로세스 키트에는 오염 없이 Endura 5500 구성 요소를 설치할 수있는 클린 룸 (clean room) 도 포함되어 있습니다. 청정실에는 열, 전기 및 가스 라인이 장착 된 스테이션 그리드와 특수 필터와 송풍기가 포함 된 2 개의 에어록 (airlock) 이 있습니다. 에셋에는 접지 모델과 이온 중화 (ion-neutralizing) 장비가 포함되어 있으며, 이 장비는 처리 된 웨이퍼의 충전을 최소화합니다. 이 프로세스 키트는 Endura 5500 시스템의 핵심 구성 요소입니다. 즉, 프로세스를 반복하고 안정적으로 사용할 수 있습니다. 이 제품은 안전하고 효율적인 작업 환경을 제공하도록 설계되었으며, 다양한 복잡한 프로세스를 처리할 수 있습니다.