판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Precision 5000 #9154524

AMAT/APPLIED MATERIALS Precision 5000은 DC 및 RF 스퍼터 프로세싱에서 고정밀도 및 정확성을 제공하도록 설계된 고급 재료 처리 생산자입니다. 이 원자로는 전례없는 수준의 장비 수준의 정확성과 반복 성을 제공합니다. 이 "원자로 '는 고도 의 재료 의 생산 에 있어서 최고 수준 의 생산 질 이 유지 되도록 지상 에서 설계 되어 왔다. 그" 로우터' 는 "로우터 '를 개발 하였다. 이 시스템은 직관적 인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 갖추고 있으며, 재료 과학자 및 엔지니어가 고급 기판 생산을 쉽게 액세스, 제어 및 모니터링 할 수 있습니다. 강력하고 정교한 자동 프로세스는 프로세스 챔버 (process chamber) 와 해당 환경의 정확한 운영을 제어합니다. 이를 통해 원자로는 가장 복잡하고 생산하기 어려운 물질도 생산할 수 있습니다. 이 장치는 최소 열 드리프트 속도 (1ppm/° C) 와 다수의 온도 및 압력 센서 (pressure sensor) 를 갖추고 있어 생산 과정 전반에 걸쳐 정확한 스퍼터를 보장합니다. 또한 온도 조절 범위는 최대 950 ° C, 압력 조절 범위는 최대 1.0 torr입니다. 원자로의 효율적인 아키텍처는 우수한 재료 증착 속도를 허용합니다. 최대 30 개의 기판 옵션과 엔드 포인트 (end point) 및 균일 한 증착 모드를 모두 사용할 수있는 기능으로, 기계는 매우 얇은 필름, 다중 레이어, 임베디드 기능 등 뛰어난 균일성을 가진 고급 기판을 생성 할 수 있습니다. 이 툴에는 다양한 고급 모니터링 (advanced monitoring) 솔루션이 포함되어 있어 운영 프로세스를 정확하게 제어하고 최적화할 수 있습니다. 이러한 모니터링 솔루션에는 증착 중 웨이퍼 온도 모니터링, 전압 및 공정 챔버 내부의 전류 측정, 증착 속도 (deposition rate) 및 재료 구성 모니터링 (material composition) 기능이 포함됩니다. AMAT Precision 5000은 매우 발전된 정밀한 재료 원자로입니다. 정교한 설계, 강력한 자동화 프로세스, 고정밀 제어 (high-precision control) 기능을 통해 고급 재료를 생산할 때 최고 수준의 품질을 유지할 수 있습니다. 매우 높은 증착율로 광범위한 재료를 처리 할 수 있으며, 균일성이 뛰어난 고급 기판을 생성 할 수 있습니다. 실시간 모니터링 기능을 통해 연구원과 재료 과학자들이 생산 과정을 완벽하게 제어할 수 있습니다.