판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000W #9254064
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ID: 9254064
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1996
Systems, 6"
(3) Chambers
Wafer loading type
Processing type: W-Plug
Exhaust:
Main system: NW 50
Gas line:
Unit / Maker / Model
Chamber A:
MFC1 / STEC / SEC-4400
MFC2 / STEC / SEC-4400
MFC3 / UNIT / UFC-8160
MFC4 / UNIT / UFC-1660
MFC5 / STEC / SEC-4400
MFC6 / UNIT / UFC-1661
MFC7 / UNIT / UFC-1660
MFC8 / UNIT / UFC-1660
Chamber B:
MFC1 / STEC / SEC-4400
MFC2 / STEC / SEC-4400
MFC3 / UNIT / UFC-1660
MFC4 / UNIT / UFC-1660
MFC5 / STEC / SEC-4400
MFC6 / UNIT / UFC-1100
MFC7 / UNIT / UFC-1260A
MFC8 / UNIT / UFC-1660
Chamber D:
MFC1 / STEC / SEC-7440
MFC2 / STEC / SEC-4400
MFC3 / UNIT / UFC-1660
MFC4 / STC / UFC-1660
MFC5 / STC / SEC-4400
MFC6 / UNIT / UFC-1660
MFC7 / UNIT / UFC-1660
MFC8 / UNIT / UFC-1660
OEM No marking transfer
Gauge:
Chamber / Maker / Model
Chamber A / MKS / 627A
Chamber B / MKS / 127AA
Chamber D / MKS / 624A
RF Unit:
Chamber / Maker / Model / Unit
Chamber A, B and D / ENI / OEM-12B / Generator
Chamber A / B / D / OEM / 0010-09750R / Matcher
Sub module:
Maker / Model / Unit
(3) EDWARDS / QDP40 / Dry pumps
EBARA / A30W / Dry pump
AMAT / APPLIED MATERIALS / AMAT0 / Heat exchanger
(2) UNISEM / UN2004A-HW / Scrubbers
Power supply: 208 VAC, 3 Phases, 50/60 Hz
1996 vintage.
공항 금속성 화학 증기 증착 장비라고도하는 AMAT/APPLIED MATERIALS P5000W 원자로는 배치 또는 클러스터 툴 세트에서 고급 반도체 프로세스를 위해 설계된 다용도 및 신뢰할 수있는 도구입니다. 집적 회로 생산에 사용되는 복잡한 구조를 만들기 위해 초박층 (ultra-thin layer) 의 재료를 실리콘 웨이퍼에 배치하는 데 사용됩니다. AMAT P5000W는 탁월한 프로세스 반복성과 안정성을 제공하는 매우 효율적인 장비입니다. APPLIED MATERIALS P5000W에는 웨이퍼를 반응 실에 직접 배치 할 수있는 자동 1 단계 로드록이 있습니다. 따라서 웨이퍼 전송이 필요 없으며 프로세스 주기 시간이 빨라집니다. 챔버 부피는 약 70 리터이고 작동 온도 범위는 -5 'C ~ + 450' C입니다. 다목적 설계를 통해 시스템은 필름 구조의 단일 (single) 및 다중 계층 증착 (multi-layer deposition) 을 포함한 다양한 프로세스에 사용될 수 있습니다. P5000W는 PC 기반 로봇과 전체 프로세스 제어 환경으로 설계되었습니다. 프로세스의 결과를 모니터링하는 고유한 실시간 피드백 (real-time feedback) 장치가 장착되어 있습니다. 또한 AMAT/APPLIED MATERIALS P5000W는 저온 작동에 최적화되어 복잡한 프로세스 레시피에 적합합니다. 고급 제어기는 전체 통계 프로세스 제어, 신속한 진단, 최적의 튜닝, 정확한 연구-화학 제어 기능을 제공합니다. AMAT P5000W에는 터보 소스 (Turbo Source) 기술이 있어 두께가 다양한 레이어를 정확하게 증착 할 수 있습니다. 이를 통해 극도로 균일 한 필름을 증착하여 단면 균일성 (cross-sectional unifority) 및 패턴 재생성이 향상됩니다. APPLIED MATERIALS P5000W에는 정확하고 반복 가능한 기판 두께를 위해 설계된 3 중 기판 교정 스테이션도 있습니다. P5000W 원자로는 고급 반도체 증착 공정을 위해 설계된 강력하고 안정적인 도구입니다. 자동화된 1 단계 로드록, PC 기반 로봇 및 프로세스 제어 환경, 터보 소스 (Turbo Source) 기술 및 트리플 기판 보정 스테이션 (Triple-Substrate Calibration Station) 을 포함한 다양한 기능을 통해 TCO (총 소유 비용) 를 최적화할 수 있습니다.
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