판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000W #9132649

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000W는 플라즈마 에치 원자로입니다. 이 제품은 다양한 프로세스 재료에서 고급 장치 (advanced device) 기능을 불러올 수 있습니다. AMAT P5000W는 비활성 로더/언로더를 갖춘 다용도 도구로서, 광범위한 프로세스 유연성을 제공합니다. APPLIED MATERIALS P5000W 는 가장 까다로운 프로세스 요구를 충족하기 위해 경제적이면서도 내구성이 뛰어난 툴로 설계되었습니다. 이 제품은 하이 옴 (high-ohm), 로우 에어리어 바이어스 (low-area bias) 구성을 갖추고 있어 정확한 제어 및 반복 가능한 프로세스 성능을 제공합니다. 공정 챔버 (process chamber) 에는 길이와 너비 모두에서 최대 8 인치까지 기판을 수용 할 수있는 조절 가능한 플랫폼이 있습니다. 또한 4 개의 RF, 3 개의 전자 레인지 및 20 개의 메쉬 가스를 포함하는 2 개의 가스 상자가 있습니다. P5000W는 단일 및 이중 웨이퍼 어플리케이션과 함께 최대 4개의 독립적인 etch-processing 도구를 지원하며, 프로세스 제어 및 열 보호를 강화하기 위한 3 개의 소스 Faraday 케이지가 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS P5000W 원자로의 공정 챔버에는 품질 성능을 보장하기 위해 여러 환경 및 안전 기능이 장착되어 있습니다. 여기에는 한 쌍의 벨로우 물개, 압력 표시 가드 링 및 샤워 벽이 포함됩니다. PID (Proportional-integral-derivative) 제어 루프 및 RF 박스와 기본 웨이퍼에 대한 기본 안전 연동 (Basic Safety Interlock) 을 갖춘 전체 온도 제어 시스템이 있습니다. 또한 압력, 온도 및 플라즈마 소비를 모니터링하는 사용자 설정 가능한 값의 자체 테스트, 자체 진단 연동 시스템이 있습니다. AMAT P5000W에는 중간파 (Medium Frequency) 전원 공급 장치가 있어 반응성 (Reactive) 이온을 높은 수준의 정밀도 및 안정성으로 공급할 수 있습니다. 전원 공급 장치는 최대 25MHz (마이크로파 주파수) 및 최대 2000W (RF) 의 전원이 공급되며, 빠른 에칭 프로세스를 위한 조정 가능한 설정이 제공됩니다. 또한 최적의 성능을 위해 압력, 온도, 플라즈마 소비를 모니터링하는 센서 배열이 장착되어 있습니다. 높은 수준의 안정성과 성능으로 APPLIED MATERIALS P5000W (APPLIED MATERIALS P5000W) 는 다양한 에칭 및 증착 프로세스에 이상적인 선택입니다. 이 툴은 소규모 (small) 및 대규모 (large) 운영 실행의 요구 사항을 모두 충족할 수 있도록 설계되었으며, 최대 8 개의 웨이퍼 프로세스를 실행할 수 있습니다. 유지 관리가 쉽고 모든 유형의 에치 (etch) 및 증착 (deposition) 프로세스에 대한 효율적인 반복성과 정확성을 제공합니다.