판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000E #9093627

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000E
ID: 9093627
웨이퍼 크기: 8"
Poly etcher, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000E는 고성능 PVD (물리적 증기 증착) 원자로입니다. 그것 은 더 높은 전력, 온도, 압력 수준 을 처리 하기 위해 제작 된 "반도체 '산업 에서 사용 하는 데 이상적 이다. 따라서 필름, 서피스, 재료에 대한 보다 효율적인 생산 프로세스가 가능합니다. AMAT P5000E는 쉽게 설치하고 유연하게 사용할 수 있도록 확장 가능한 모듈식 설계를 갖추고 있습니다. 고급 캡슐화, 높은 열 전도성, 장벽 층, 상호 연결 및 기타 에칭 응용 프로그램에 이상적입니다. APPLIED MATERIALS P5000 E에는 챔버 전체에서 균질성을 달성하기 위해 기판 온도를 최적화하는 환경 시스템이 있습니다. 2 개의 일치하는 석영 천장판과 4 개의 전극으로 설계되어 균일 한 온도 및 최적의 플라즈마 분포를 유지하는 데 도움이됩니다. 또한 더 효율적인 가스 흐름 및 안전한 작동을위한 쿼츠 벨 항아리 (quartz bell jar) 와 웨이퍼 (wafer) 의 여러 부분에서 균일 한 필름 증착을 보장하는 다양한 회전 속도 (rotation rate) 가 특징입니다. 또한 APPLIED MATERIALS P5000E의 쿼츠 벨 항아리를 교체하여 수명을 늘리고 유지 보수 비용을 줄였습니다. AMAT P5000 E에는 RF 생성기 (generator) 도 장착되어 있어 프로세스를 보다 효과적으로 제어하여 균일성과 반복성을 보장합니다. 다른 프로세스에 맞게 성능을 조정할 수 있으며, 갈바닉 (Galvanic) 과 DC 전원 열전원 기술을 모두 제공하여 정확성과 신뢰성을 높입니다. P5000E에는 프로세스 정보를 저장하고 리콜하는 RAM (Random Access Memory) 이 내장되어 있어, 장비 조건과 매개변수를 쉽고 빠르게 진단할 수 있습니다. 안전성 향상을 위해 P5000 E에는 비상문 (emergency door release) 도 장착되어 있어, 문 (door) 을 잠금하고 비상시 선박의 압력을 방출합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 E에는 플러싱 및 통풍을위한 여러 포트가 있으며, 부식에 강한 재료와 내구성이 뛰어난 구조로 인해 마모와 찢어지지 않습니다. 간단히 말해, AMAT/APPLIED MATERIALS P5000E는 다재다능하고 내구성이 뛰어난 PVD 원자로로, 반도체 산업의 다양한 에칭 및 캡슐화 응용 분야에 적합합니다. 이 제품은 쿼츠 벨 항아리 (quartz bell jar), RF 생성기 (RF generator), 열전대 기술 (thermocouple technology) 과 같은 고급 구성 요소를 사용하여 효율적이고 안전한 작동을 위해 설계되었습니다. 전력 조절 가능한 설정은 다양한 프로세스에 적합하며, 내장 RAM (RAM) 은 빠른 진단과 간편한 프로세스 리콜을 가능하게 합니다. AMAT P5000E는 부식 방지 구조와 조절 가능한 회전 속도를 통해 뛰어난 필름, 표면 및 재료 증착을 보장합니다.
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