판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9411333

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 강력한 에치 및 증착 원자로 장비입니다. 이 다중 모듈, 생산 규모 에치 및 증착 시스템은 일련의 에치 (etch) 및 증착 (deposition) 모듈을 결합하여 반도체 기판의 고품질 에칭 및 증착을 가능하게합니다. AMAT P-5000 의 포괄적인 기능은 가장 까다로운 프로세스 요구 사항을 충족하는 고급 마스킹, etch 및 deposition 솔루션을 제공합니다. APPLIED MATERIALS P 5000에는 여러 가지 에치 및 증착 도구와 균일 성 시스템이 장착되어 있습니다. Autodep 라인에는 다른 시스템과 비교할 수있는 더 높은 에치 처리량과 반복 가능한 속성 균일성을 제공하는 4 개의 Autodep VEP 에칭 모듈 세트가 있습니다. Autodep VEP 라인은 최대 200mm 크기의 웨이퍼를 에칭 할 수 있습니다. AMAT P5000은 또한 최대 1000mm ²/min의 일관된 처리량을 위해 2 개의 Matchline II 증착 시스템을 갖추고 있습니다. 자동 로드/언로드 기능 및 온보드 안전 기능을 통해 고품질의 처리량을 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000에는 광학, 습식 및 플라즈마 에치 모듈이 추가로 포함되어 있으며, 모두 일관된 에치 균일성, 더 높은 수율, 향상된 프로세스 처리 시간을 제공하도록 최적화되었습니다. 이 모듈은 다양한 프로세스 챔버 및 균일성 분석기 (unifority analyzer) 를 갖추고 있으며, 에칭, 증착 및 마스킹 중 웨이퍼를 신속하게 최적화 할 수 있습니다. 이 모듈에는 고급 프로세스 프로그램도 포함되어 있어, 효율적이고 반복 가능한 반도체 장치 처리가 가능합니다. P-5000 은 etch 및 deposition 모듈 외에도 여러 가지 운영 지향 구성요소 및 툴을 갖추고 있습니다. 여기에는 고 처리량 웨이퍼 정렬 장치, 통합 웨이퍼 트랙 머신 및 통합 웨이퍼 검사 도구가 포함됩니다. 모든 구성요소는 쉽게 통합하고 설치할 수 있도록 설계되었으며, 따라서 마이그레이션을 통해 성능을 극대화할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS P-5000은 자동화된 현장 프로세스 제어 솔루션을 추가로 제공합니다. 이 통합 프로세스 제어 제품군은 시스템 학습과 실시간 프로세스 모니터링을 결합하여 수익률 및 성능을 최적화합니다. 요약하자면, AMAT P 5000 은 가장 까다로운 반도체 소자 처리 요구사항을 충족할 수 있는 기능과 기능을 갖춘 프로덕션 규모의 다중 모듈 (multi-module) 에치 및 증착 자산입니다. 통합 (Integrated) 프로덕션 지향 구성 요소와 결합된 포괄적인 기능을 통해 다양한 프로세스 요구 사항에 대한 높은 반복성 (repeativility) 과 효율성 (efficiency) 을 제공합니다.