판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9408602
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 고급 반도체 장치 제조를 위해 설계된 고급 PECVD 원자로입니다. 이 장비는 안정성이 뛰어나고, 컴팩트하며, 모듈식 아키텍처를 활용하여 최적의 시스템 성능을 제공합니다. AMAT P-5000은 확장 된 쇼 헤드 (showerhead) 가있는 SiH2Cl2 대기 압력 CVD 공정 챔버를 특징으로하여 전체 웨이퍼 표면에서 균일성을 보장하고 더 넓은 정밀도, 반복성 및 처리량을 제공합니다. 프로세스 챔버에 통합된 이중 펄스 플라즈마 소스는 빠른 웨이퍼 표면 활성화 (wafer surface activation) 와 모듈식 아키텍처 (modular architecture) 및 강력한 하드웨어 구성 요소를 제공하여 장기적인 호환성 및 신뢰성을 보장합니다. APPLIED MATERIALS P 5000의 자동 웨이퍼 로딩, 처리 및 로봇 암 장치는 최대 정밀도 및 반복 성을 유지하면서 매우 낮은 사이클 시간을 제공합니다. "실리콘 ', 질화물," 알루미늄' 등 모든 형태 의 기판 을 가공 하여 응용 프로그램 의 유연성 과 여러 공정 문제 에 적응 할 수 있는 능력 을 가지고 있다. 이 기계는 DVD 및 SEM 분석과 같은 고급 분석 도구, 레시피 자동화 및 시뮬레이션 기술을 통합하여 프로세스 개선을 촉진합니다. 또한 P 5000 은 효율적인 제어 및 데이터 전송을 위해 기존 Fabrication 환경과의 완벽한 통합을 지원합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000은 반도체 프로세싱에서 탁월한 성능과 수율을 제공하도록 설계되었습니다. 탁월한 처리량, 컨트롤러성과 더불어 높은 신뢰성, 균일성, 정밀성을 제공하므로 고급 반도체 장치 제작을 선호합니다 (영문).
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