판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9402494

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 원자로는 다양한 산업 공정에서 사용되는 다용도, 신뢰성 및 고급 원자로입니다. AMAT P-5000은 반도체 장치 제조, 나노 기술 및 기타 고급 재료 응용 분야에 사용하도록 설계되었습니다. 고급 "에어로빅" 형 850mm 진공 챔버 원자로입니다 (단축: Aer-850M). APPLIED MATERIALS P 5000은 고급 PVD 및 복합 박막 기술을 갖춘 단일 웨이퍼 프로세스입니다. 초고성능 어플리케이션의 핵심인 고급 금속 화합물 (advanced metal compounds) 에 대한 고유한 치수와 매개변수를 기반으로 한 프로세스를 제공합니다. P5000의 챔버 부피는 650 리터이고 공정 가스 흐름은 최대 800SLM입니다. 또한 최대 800C 의 열 관리 기능을 통해 높은 온도, 높은 일관성, 반복성, 유연성, 고온에서 저온까지 처리할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS P-5000은 또한 O2, N2, H2 및 Ar 및 여러 반응물과 같은 다양한 대기 옵션을 제어 할 수 있습니다. 또한, 다양한 고급 온도 프로그래머블 (temperature-programmable) 기능을 제공하여 광범위한 재료 및 증착 단계에 완벽한 온도 프로파일을 제공합니다. APPLIED MATERIALS P5000은 높은 처리량 설계, 오픈 프레임 팬 구성, 프로세스 도구로서의 유연성을 최대한 활용하는 통합 자동화 시스템 (Integrated Automation System) 을 갖추고 있습니다. 모듈식 설계로 인해 제어 시스템 (Control System), 냉각 시스템 (Cooling System) 등 여러 구성 요소와 기능을 교체 및 업그레이드할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 디바이스를 고유한 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. 또한, AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000은 고급 재료 응용 프로그램에 적합한 몇 가지 추가 기능으로 설계되었습니다. 우선, 작은 면적과 작은 설치 공간을 갖추고 있으므로 사용자가 설치 공간을 절약할 수 있습니다 (영문). 또한 P-5000에는 소스 오염을 줄이고 프로세스 균일성을 개선하는 4 도트 웨이퍼 정렬 디자인이 있습니다. 또한, 모든 프로세스 매개변수를 쉽게 제어하고 모니터링할 수 있는 직관적인 터치스크린 인터페이스가 있습니다. 이러한 모든 기능을 통해 AMAT P5000은 고급 재료를 만들 수 있는 고급, 안정성, 유연한 원자로입니다. 고성능 영화, 유전체, 반도체 및 나노 기술과 같은 응용 분야에 이상적입니다. AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 은 고온과 저온의 프로세스를 모두 제어하고, 정확하고 반복 가능한 처리를 제공하여 고품질의 최종 재료를 제공합니다.