판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9400379

AMAT 또는 AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 박막 증착에 사용되는 일종의 화학 증기 증착 (CVD) 원자로이며, 가열 된 챔버로 구성되며, 쿼츠 창과 샤워 헤드 어셈블리가 있습니다. 이 장비의 CVD 공정은 2 개의 가스 화학 물질 사이에 화학 반응을 발생시켜 기질 위에 얇은 막을 생성합니다. AMAT P-5000 은 자동화된 사용자 친화적 (user-friendly) 시스템에서 높은 처리량과 생산성을 제공하도록 설계되어, 운영 환경에 이상적인 제품입니다. 원자로는 터보 펌프 장치 (turbo-pumped unit) 로 구동되며, 이는 저압, 높은 펌핑 속도 및 높은 가스 흐름의 다양한 조합을 제공합니다. 이를 통해 다양한 박막 응용 프로그램의 증착률 (deposition rate) 과 수율 (revield) 이 향상됩니다. 원자로는 주 진공실, 석영 창 및 히터 박스로 구성됩니다. 진공실은 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며, 챔버 벽 주위에 여러 형태의 단열재가 있습니다. ··· 벽 은 열손실 을 감소 시키고 환경 으로부터 좋은 봉인 을 보장 하기 위하여 "헤르메트 '로 밀봉 된 용접 을 이용 하여 서로 부착 된다. 이 챔버에는 "터보 펌프 머신 (turbo pump machine) '이 장착되어 있어 챔버의 낮은 압력을 유지하고 박막 증착을 위한 최적의 환경을 만들 수 있습니다. 원자로의 쿼츠 창 (quartz window) 은 일관된 기체 입구 (inlet of gas) 를 가능하게 하고 기판 표면에서 짝수 온도를 가능하게하도록 설계되었습니다. 또한 "쿼츠 '창 은 기질 을 온도 와 입자 오염 물질 로부터 보호 하는 데 사용 되며, 기질 표면 을 깨끗 하게 하고 오염 이 없도록 한다. 히터 박스는 챔버 내부의 일관된 온도를 유지하기 위해 사용됩니다. 온도는 수동으로 또는 컴퓨터 제어 모듈을 통해 조절됩니다. 히터는 일반적으로 두 가지 요소로 구성되며, 그 중 하나는 가열 요소, 다른 하나는 "센서 격자" 입니다. 또한, APPLIED MATERIALS P 5000에는 박막 증착 동안 기판을 쉽게 고정시킬 수있는 샤워 헤드 암이 포함되어 있습니다. 쇼어 헤드 (showerhead) 는 기질에 기체 화학 물질의 균등한 분포를 보장하기 위해 사용됩니다. 그것 은 또한 "가스 '의 흐름 을 심지어 원형" 패턴' 으로 "가스 '에 균일 하게 분배 함 으로써 박막 의 균일성 을 향상 시킨다. 이 모든 구성 요소는 결합되어 박막 증착을위한 혁신적인 원자로 인 APPLIED MATERIALS P5000을 만듭니다. 이 툴은 대용량/소용량 기판 모두에 대한 높은 증착량 (deposition throughput) 을 달성할 수 있는 안정적이고 자동화된 플랫폼을 제공합니다. 다목적 설계는 또한 생산 환경과 연구 환경 모두에 적합한 선택입니다. AMAT P5000을 사용하면 APPLIED MATERIALS가 차세대 박막 증착 시스템의 표준을 설정하고 있습니다.