판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9397173
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 집적 회로 및 기타 복잡한 부품의 생산에 사용되는 고급 반도체 원자로입니다. AMAT P-5000은 열 화학 반응에 기반한 배치 모드 플라즈마 에치 및 증착 장비입니다. 비교적 높은 수준의 공정 압력과 강력한 유도 플라즈마 발전기 (plasma generator) 를 사용하여 안정적인 프로세스를 유지합니다. 따라서 시스템의 효율성이 높고 안정적입니다. APPLIED MATERIALS P 5000의 기판 크기는 1cm ~ 12cm이며 최대 24cm의 초대형 기판을 처리 할 수 있습니다. P5000 은 기판 전체에 걸쳐 균일하고 일관성 있는 (uniform) 프로세스를 유지하여, 모든 구성 요소에 높은 수준의 품질을 제공합니다. 또한 AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000에는 다양한 기능이 장착되어 있어 성능을 향상시키고, 정밀성과 품질에 있어 에지를 제공합니다. 고급 음극 센터 라인, 멀티 포인트 자세 제어 장치 (multi-point attitude control unit) 및 정교한 모니터링 솔루션이 장착되어 있습니다. AMAT P5000에는 AutoGrid (TM) 기술이 적용되어 있어 모든 구성 요소에 대해 최적의 에치 균일성을 보장하도록 그리드를 자동으로 구성합니다. 특허를 획득한 AutoGrid (TM) 기술은 수동 구성으로 인한 운영자 오류를 없애 가동 중지 시간을 줄이고 생산성을 높입니다. 또한 APPLIED MATERIALS P5000에는 지능형 프로세스 컨트롤러, 모든 머신 변경 또는 연산자 기본 설정에 맞게 프로세스 매개 변수를 조정하는 자동 조정 알고리즘, 가스 압력 및 기타 프로세스 매개변수를 조절하는 웨이퍼 두께 제어 도구 (wafer-thickness control tool) 가 제공됩니다. P 5000은 고급적이고 신뢰할 수있는 에치 및 증착 자산입니다. 또한 AutoGrid (TM) 기술 및 지능형 프로세스 컨트롤러와 같은 최첨단 기능으로 인해 일관성 있고 균일한 프로세스를 제공합니다. 따라서 모든 유형의 복잡한 구성 요소에 적합한 옵션을 선택할 수 있습니다.
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