판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9396223

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Reactor는 반도체 제조 분야에서 다양한 응용 분야를 위해 설계된 최첨단 원자로입니다. 그것은 대규모 확산 도핑, 산화 및 어닐링 과정을 허용하는 수평 열 공정 원자로입니다. 원자로에는 다양한 가스 처리 기능을 갖춘 40x40x60 공정 구역이 있습니다. 이 원자로는 낮은 온도, 높은 균일성 및 낮은 가스 소비를 제공하도록 설계되었습니다. 원자로 (reactor) 는 종합적인 처리량을 가지고 있어 대량 생산 응용 분야에 매우 적합합니다. 공정 온도 범위는 섭씨 100 ~ 1100 도입니다. 이를 통해 다양한 복잡한 반도체 재료를 처리 할 수 있습니다. 원자로의 ADPC (Adaptive Dynamic Process Control) 시스템은 광범위한 레시피 및 프로세스 조건에 걸쳐 균일성과 일관된 품질을 제공 할 수있는 자체 최적화 운영 모드를 용이하게합니다. 원자로의 챔버 (Chamber) 는 매우 효율적이도록 설계되었으며, 낮은 오염 수준을 제공하면서 최소한의 가스 사용이 필요합니다. 이것은 처리 부피 전체에서 '박스 (box)' 원자로 형상과 연속 가스 흐름을 결합하여 달성됩니다. 이 챔버에는 특허를받은 백 퍼지 디자인 (back purge design) 이 있습니다. AMAT P-5000은 또한 높은 수준의 빌드 유연성을 갖추고 있으며, 단일 챔버 (single-chamber) 및 다중 챔버 (multi-chamber) 구성 모두에서 사용할 수 있습니다. 이는 모듈식 설계의 유연성, 쉽게 교환할 수 있는 구성 요소 덕분에 가능합니다. 또한 APPLIED MATERIALS P 5000은 다양한 기존 설치에 적합한 맞춤형 가스 박스 도어 (gas box door) 디자인을 갖추고 있습니다. 마지막으로, APPLIED MATERIALS P5000 원자로는 업계 표준 모니터링 시스템으로 설계되어, 운영자가 최적의 성능을 유지하기 위해 프로세스 매개변수를 모니터링하고 조정할 수 있도록 합니다. 원자로의 내장 제어 시스템 (내장 제어 시스템) 은 개선 된 수율을 위해 프로세스 조건을 쉽게 자동으로 튜닝할 수 있습니다. 따라서, P-5000 원자로는 광범위한 반도체 제조 공정에 이상적인 선택입니다.