판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9377269

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 USP (Ultrashort Pulse) 레이저 처리 기술을 사용하여 미립자 또는 벌크 재료를 기판에 정확하게 예측 할 수있는 고성능 생산 원자로입니다. 고온의 기질에서 금속-유기 필름의 성장을 가능하게하는 금속-유기 화학 증발 (MOCVD) 장비입니다. AMAT P-5000 모듈식 시스템은 효율적인 플랫폼을 기반으로 설계되었으며, 기능 크기, 우수한 재료 상호 작용, 신뢰할 수있는 필름 특성을 완벽하게 제어합니다. 로드 잠금 기능은 낮은 전력 소비를 유지하면서 탁월한 필름 균일성을 달성하는 데 도움이됩니다. 이 장치에는 강력한 소프트웨어 플랫폼이 있으며, 이를 통해 사용자는 압력, 온도, 가스 흐름, 재료 주입 (injection) 과 같은 프로세스 매개변수를 프로그래밍하고 제어할 수 있습니다. 또한 III-V 합금, 폴리 실리콘, 산화물, 질화물 및 기타 다양한 특수 재료와 같은 다양한 재료 조성을 생성하도록 구성 할 수 있습니다. 또한 APPLIED MATERIALS P 5000은 필름 두께를 실시간으로 모니터링하고 조정하여 안정적이고 반복 가능한 성능을 제공합니다. 원자로 챔버 (reactor chamber) 는 균일 한 흐름 필드를 만들고 전체 기판에 걸쳐 균일 한 증착 속도를 보장하도록 설계되었습니다. 고온, 고압 처리가 가능하며, 물질 손실과 오염을 최소화하도록 설계되었습니다. 이 챔버 (chamber) 는 증착율을 정확하게 제어하기 위해 여러 개의 가스 및 소스 인젝터를 갖추고 있으며, 대형 웨이퍼 및 기판 코팅을 수행 할 수 있습니다. P 5000 은 안전하고 정확한 작동을 보장하기 위해 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 여기에는 온도 및 압력 연동, 자동 종료 프로토콜, 부식 및 오염 보호가 포함됩니다. 이 기계에는 또한 챔버 도핑 도구 (chamber doping tool) 가 포함되어 있으며, 질소 또는 탄소 화합물로 기판을 정확하게 도핑하고, 챔버에서 기판 온도, 챔버 압력 및 재료/가스 수준을 모니터링하는 센서를 제공합니다. P5000 의 고급 USP 레이저 프로세스 (Advanced USP Laser process) 는 다른 기능과 함께 다양한 증착 프로세스를 수행하는 다용도 도구입니다. 탁월한 균일성 및 증착 프로세스 제어, 신뢰할 수있는 안전 기능, AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000을 고성능 생산 환경에 적합한 선택으로 만들었습니다.