판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9377267

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 9377267
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1993
TEOS CVD Systems, 8" 1993 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 얇은 필름의 고급 증착 및 에칭을 위해 정밀한 처리 제어 및 성능을 제공하도록 설계된 유도 결합 고밀도 플라즈마 원자로입니다. 높은 증착율과 탁월한 균일성을 제공하는 AMAT P-5000 (AMAT P-5000) 은 반도체 및 데이터 저장 장치 제작에 이상적인 선택입니다. APPLIED MATERIALS P 5000은 고급 플라즈마 처리 기술을 사용하여 탁월한 증착 및 에칭 성능을 제공합니다. 원자로에는 플라즈마 (Plasma) 세대 소스 및 고급 전력 공급 시스템 (Plasma Generation Source and Advanced Power Delivery System) 이 장착되어 있어 플라즈마 특성을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이렇게 함 으로 "필름 '두께, 순도, 그리고 퇴적· 식각 할 수 있는 재료 의 조합 을 정확 하게 제어 할 수 있다. APPLIED MATERIALS P5000은 또한 현장 도핑을 위해 고밀도 플라즈마 작동을 유지하고, 반응성 이온 에칭 프로세스를 생성하며, 균일하고 정확한 프로세스 제어를 제공 할 수 있습니다. 또한, AMAT P 5000 은 광범위한 제품 향상을 통해 대용량 생산을 위한 최적의 선택이 됩니다. 여기에는 고급 기질 열 관리, 공정 증착 조건의 정확한 제어, 플라즈마 특성의 균일성 (unifority) 으로 인한 프로세스 반복성 향상 등이 포함됩니다. 또한 P 5000에는 정밀한 기판 처리 및 정확성을 보장하는 로봇 로드 록 (robotic loadlock) 및 정렬 시스템이 장착되어 있습니다. AMAT P5000 (AMAT P5000) 은 견고하고 신뢰할 수있는 원자로로서, 높은 증착률과 뛰어난 균일성으로 고급 박막 증착 및 에칭을 위해 정확한 제어 매개변수를 제공 할 수 있습니다. 고급 플라즈마 처리 기술 (Plasma Processing Technology) 은 증착 및 식각 할 수있는 재료의 필름 두께, 순도, 조합을 정확하게 제어하며, 광범위한 제품 개선으로 인해 대용량 생산에 이상적인 선택이 됩니다.
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