판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9377266

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 9377266
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1992
TEOS CVD Systems, 8" 1992 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 원자로는 재료 수정 및 박막 증착에 사용되는 고급 플라즈마 처리 장비입니다. 이 시스템은 원통형 형상이있는 프로세스 챔버 (process chamber) 를 특징으로하며, 플라즈마 처리의 효율성을 보장하면서 관찰 영역을 최대화합니다. 프로세스 안전을 보장하기 위해 AMAT P-5000에는 완전 금속 폐쇄 메커니즘 및 탄성 물개가있는 밀봉 된 챔버가 있습니다. 이 장치 는 얇은 "필름 '의 증착 에 이상적 이며, 금속, 유전체," 실리콘', 유기물 과 같은 물질 로부터 사용자 정의 된 무늬 구조 를 만들 수 있다. APPLIED MATERIALS P 5000은 웨이퍼 수준 처리에도 사용되므로 높은 정확도, 정밀도 및 낮은 입자 오염이 가능합니다. 이 기계는 프로세스 가스 구동을위한 전원 공급 장치, DC 및 RF 바이어스를위한 고전압 전원 공급 장치, 프로세스 가스 제어를위한 대량 흐름 컨트롤러 (Mass Flow Controller) 등 여러 하위 시스템으로 구동됩니다. 냉각 도구는 또한 자산의 온도 및 챔버 환경을 유지하는 데 도움이됩니다. P5000은 정확성과 성능을 보장하기 위해 고급 온웨퍼 도량형 모델을 사용합니다. 모듈 식 설계를 통해 장비를 사용하여 웨이퍼, 기판, 박막 (thin film) 을 높은 수준의 정확도로 측정 할 수 있습니다. 이 시스템에는 고급 위상 이동 간섭법 및 다양한 샘플 스캔 옵션이 있습니다. APPLIED MATERIALS P-5000에는 가스 여과, 플래시 모니터링, 원격 모니터링 시스템 등 다양한 안전 및 환경 기능이 있습니다. 외부 냉각은 또한 오염을 방지하여 프로세스 안전을 보장합니다. 또한이 장치는 터보 분자 펌프 (turbo molecular pump) 및 cryopumping을 포함한 여러 진공 펌핑 및 제거 기능을 지원합니다. P-5000 원자로 (P-5000 reactor) 는 박막 및 기타 구조물에 대한 다양한 재료를 처리하기위한 고급적이고 신뢰할 수있는 원자로입니다. 이 "머신 '은 비길 데 없는 수준 의 정밀도 와 안전성 으로, 광범위 한 산업 분야 에서 사용 하기 에 적합 한 선택 이다.
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