판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9311437
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 원자로는 유전체, 장벽 코팅 및 질화물과 같은 맞춤형 필름의 대면적 증착에 사용되는 고급 플라즈마 강화 화학 증기 증착 장비 (PECVD) 입니다. 이 시스템은 최대 1370 cm2 면적의 필름을 입금하는 데 사용될 수 있으며, 이는 복잡한 대면적 증착 과정을 가능하게합니다. 사용자에게 높은 처리량, 균일 한 필름, 고품질 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치는 무선 주파수 (Frequency), 전자 레인지 (Microwave) 및 핫 필라멘트 (Hot Filament) 기술을 사용하여 원자로 챔버 내에서 제어적으로 흥분 된 분자를 사용하여 얇은 필름을 형성하는 데 사용할 수있는 플라즈마 환경을 만듭니다. 또한 AMAT P-5000 의 플라즈마 소스를 사용하면 최적의 성능을 위해 플라즈마의 밀도를 안전하고 효율적으로 조절할 수 있습니다. 이 기계는 압력 (pressure), 온도 조절 (temperature control), 자동 테스트 및 튜닝 기능을 포함한 고급 프로세스 제어 기능을 갖추고 있습니다. 또한 빠른 속도 및 증착 균일성 제어를 제공하는 고속 증착 도구입니다. APPLIED MATERIALS P 5000은 또한 한 프로세스에서 다른 프로세스로 자동 전환 (automatic switchover) 과 같은 다양한 자동화 기능을 사용하며, 실시간으로 압력, 온도, 프로세스 매개변수를 자동으로 조정할 수 있습니다. 자산은 또한 적응력이 높으며, 제한된 PECVD 프로세스를 넘어 다양한 필름 성장 프로세스를 처리 할 수 있습니다. 여기에는 기능 필름 처리, 접촉 채우기, 유전체 수동화, 장벽 레이어 및 기타 프로세스가 포함됩니다. 이 모델은 또한 폴리머 처리에 최적화된 조건을 제공하며, 넓은 영역 기판 (예: 유연성 및 강성 패널) 을 고정밀 패턴 프로세스로 채울 수 있습니다. 안전성 및 신뢰성 측면에서, AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 원자로는 장비 센서를 통해 능동적으로 모니터링되며, 이러한 매개변수 중 하나가 제한 설정을 초과할 경우 프로세스 매개변수 및 장치 상태를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 또한 중앙 청소 스테이션 (Central Cleaning Station) 을 통해 비용을 최소화하고 가동 시간을 늘릴 수 있도록 설계되었습니다. 마지막으로 AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 UV/VPE 장치는 설치와 사용이 간편합니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 사용자는 시스템을 모니터링, 제어, 조작하는 방법을 신속하게 이해할 수 있으므로 모든 사용자에게 안정적이고 경제적인 툴이 됩니다.
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