판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9294470

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 산업용으로 설계된 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 이 원자로는 광범위한 반도체, LED, 평면 패널 디스플레이 제조 어플리케이션을 위한 중요한 활성화 기술을 제공합니다. 회전하는 감수기를 갖춘 단일 또는 이중 웨이퍼, 4 중 챔버 원자로이며 유전체, 반도체 및 금속 박막을 증착 할 수 있습니다. 원자로에는 필요에 따라 회전 속도를 높이거나 속도를 늦출 수있는 전동식 웨이퍼 캐리어 (Motorized Wafer Carrier) 가 장착되어 있습니다. 2 개의 하중 잠금은 4 개의 유도 가열 챔버에 최대 2 개의 프로세스 웨이퍼로 첫 번째, 첫 번째 (FIFO) 로딩을 제공합니다. 웨이퍼 캐리어의 움직임은 웨이퍼의 양면을 정확하게 가열합니다. 챔버는 각각 단일 조정 손잡이로 구동되는 4 개의 동일한 감지기 (susceptor) 를 통해 가열됩니다. 이를 통해 각 챔버의 온도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 공정 가스는 단일 공정 가스 공급 매니 폴드에서 공급됩니다. 프로세스 작동 압력은 최적의 진공 제어를 위해 2 개의 커패시턴스 마노미터로 전자적으로 모니터링됩니다. AMAT P-5000 원자로는 또한 자체 진단 기능과 데이터 기록을 갖추고 있습니다. 웨이퍼 (wafer) 전송은 원자로 컨트롤러의 메모리에 웨이퍼 추적 (wafer tracking) 데이터를 기록하는 카메라 시스템을 통해 추적 및 모니터링됩니다. 또한 APPLIED MATERIALS P 5000은 웨이퍼의 전체 표면에 균일 한 증착을 제공하여 다양한 프로세스 구성을 허용합니다. P-5000의 디자인은 유연하고 신뢰할 수 있으며 원자로는 SiN, AlN, SiO2, CET 및 tungsten을 포함한 다양한 재료와 함께 사용할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS P5000의 높은 처리율, 짧은 주기, 안정적인 작동을 통해, 씬 필름 생산에 비용 효율적이고 효율적인 선택이 가능합니다.